中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293758429 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 293758429
PVD System Process: PC-XT DS-TiN ALPS (2) SIP-Ti (2) DS-AL .
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、マイクロエレクトロニクスおよびナノエレクトロニクス用途における各種材料の研究、開発、製造に使用される高性能加工炉です。この原子炉は高度な機能を利用して、精密な熱および化学プロセスを保証します。温度範囲が広いため、あらゆる動作を行う場合に柔軟性があります。原子炉には、システム全体に均等に熱を分配するように設計されたサセプター装置が装備されています。これにより、サイドウォールやコーナーの温度を下げるだけでなく、熱勾配を最小限に抑え、材料層の亀裂を引き起こす可能性があります。もう1つの大きな特徴は、迅速な処理時間を可能にするために原子炉室からすぐに空気をポンプで送り出す活気のある排気ユニットです。AKT Endura IIは、バッキング圧力、組成、温度などのプロセス変数を正確に制御します。これにより、ユーザーはプロセス条件を所望の許容範囲内のレベルに簡単にキャリブレーションできます。さらに、環境汚染の可能性を低減します。原子炉は、ユーザーがリアルタイムでプロセスを監視することができ、大きな汎用性を提供するために、チャンバーの側面に2つの石英窓がインストールされています。さらに、AMAT Endura IIは、堆積物の均一性を高める選択可能なシード層を備えています。これは、従来のシステムで動作する場合に困難な薄層蒸着に特に有利です。二重ふたの設計はプロセスの間にガス抜きによるウェーハのashingの危険を減らします。最終的に、Endura IIはさまざまな研究および生産の適用のための理想的な非常に多目的な、高度の原子炉機械です。その広い温度範囲、精密なプロセス制御、均一な種子層、および活気に満ちた排気ツールは、ユーザーに大きな柔軟性と信頼性を提供します。そのため、最新の研究プロジェクトや生産タスクに最適です。
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