中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293628318 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura IIリアクターは、化学蒸着（CVD）装置です。このシステムは、保護などのために表面に適用することができる様々な材料の薄膜やコーティングを作成するために使用されます。AMAT Endura IIリアクターは、基板を搭載したチャンバー、プロセスガス搬送ユニット、熱源、電源で構成されています。アプライドマテリアルズEndura IIリアクターにはポリシリコンと酸化物CVDシングルウエハーマシンが装備されており、一度に6インチまたは4つの8インチウエハーまでのバッチ処理が可能です。Endura IIリアクターは、堆積均一性と優れたプロセス制御を提供します。このユニットは加熱基板ホルダーを備えており、反応室内の基板の均一な位置決めが可能です。これにより、作成される層の均一性が保証され、基板上の汚染を低減するのにも役立ちます。反応室はまた優秀な温度調整を提供し、精密な、反復可能なフィルム厚さおよび均等性を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura IIリアクターは、大面積の基板でも高い均一性を提供することができます。これは、複数のプロセス制御パラメータが利用可能であり、最適化された反復可能なパフォーマンスを可能にするためです。さらに、AMAT Endura IIリアクターは特許取得済みの高速ポスト蒸着冷却機能を備えており、フィルムの残留応力を大幅に低減し、優れたフィルム特性をもたらします。アプライドマテリアルズEndura IIリアクターは、ウェーハ全体に優れた膜厚均一性を提供し、加工後の微調整パラメータを提供し、均質な層の形成と最適なプロセス歩留まりを保証します。Endura IIリアクターは、シランや酸素を含む幅広いガスを処理することができ、1100°Cまでの温度で実行することができます。このツールは、プログラマブルロジックコントローラ（PLC）やインターロックオプションなどのさまざまなオプションも利用でき、ユーザーが可能な限り最高の結果を得ることができます。優れたプロセス制御と幅広いプロセス能力を備えたAMAT/APPLIED MATERIALS Endura IIリアクターは、信頼性の高い高性能CVD資産を求める人々に最適です。