中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293617299 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II Reactorは、半導体産業における高スループットバッチ処理用に設計された、コンピュータ制御および温度制御の統合されたウェット処理装置です。処理チャンバ、トップスピナー、ボトムスピナー、ウェーハの配置と取り扱いのためのいくつかのプリアライメントステーションなど、いくつかのモジュールが付属しています。AMAT Endura II Reactorは、最大直径200mmのウェーハ、最大100個のウェーハを処理するように設計されており、最大工程重量は150kgです。堅牢な構造により、原子炉全体のプロセス温度の均等な分布と均一性が保証され、一貫した信頼性の高い結果が保証されます。APPLIED MATERIALTS Endura II Reactorでは、マルチステッププロセスの処理が容易です。使いやすく、直感的に操作できるように設計された直感的なユーザーインターフェイスは、ダウンタイムを最小限に抑え、プロセス制御を強化します。さらに、原子炉には複数のプロセスステーション構成があり、ウェットエッチング、クリーニング、乾燥、表面処理などのプロセスの複数ステップの組み合わせを作成できます。また、原子炉には堅牢な熱制御システムが装備されており、すべてのプロセスで正確な温度制御と均一性を実現しています。この原子炉は、2000〜10,000ワットの電力と同様に、1〜250缶の温度を正確に制御することができます。さらに、原子炉の周囲温度制御ユニットは、チャンバー全体で一貫した温度を維持するのに役立ち、熱衝撃を防ぐように設計されています。この原子炉は、窒素、酸素、水素などのさまざまなガスを外部ガス供給機で処理することができます。すべてのガス流量を監視することも可能なデリバリーツールには、一貫した安全なプロセスを確保するための自動パージと圧力制御が含まれています。また、廃棄物の回収や処理資産も含まれており、副産物の除去が容易です。さらに、最新のプロセスモニタリング、データロギング、トレンド機能を備えており、複数の実行にわたる結果の再現性と信頼性を確保します。Endura II Reactorは、大量のウェーハを短時間で処理するための信頼性と費用対効果の高い方法と考えられています。その直感的なユーザーインターフェイスと高精度の温度制御モデルは、常に一貫した信頼性の高い結果をもたらし、プロセスの品質と効率を保証します。この原子炉はまた、幅広いプロセス監視、データロギング、トレンド化機能を提供しているため、原子炉の複数の実行にわたってプロセスのパフォーマンスを追跡および監視することが容易になります。