中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293616137 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 293616137
ヴィンテージ: 2011
Metal PVD System 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura IIは、量産用途に特化した特殊プラズマエッチング炉です。この信頼性の高い機器は、比類のない精度で幅広い材料を効率的にエッチングすることができます。AMAT Endura IIはシングルウェーハバッチ構成で、サブミクロンから数ミクロンまでの機能サイズに最適です。このシステムの中心は、高効率の多周波パルスプラズマ源であり、高エッチング率と優れたエッチング選択性の両方を可能にします。この革新的な特許取得済みのプラズマソースは、プログラム可能な周波数変調を使用して、最適なプロセスウィンドウを保持しながらエッチングの深さとフィーチャーの解像度を正確に制御します。この超高速で精密なエッチングにより、アプライドマテリアルズのエンデュラIIは、市場で最も求められているシステムの1つです。Endura IIの柔軟性とパワーは、高度なAMAT/APPLIED MATERIALS Endura IIプロセス制御および分析ソフトウェアから一部です。このユーザーフレンドリーなソフトウェアスイートは、高度なイベント制御、プロセス監視、エッチングプロセスの自動解析を可能にします。AMAT Endura IIは、エッチングチャンバーにウェーハを出し入れする先進的な単一の閉塞輸送ユニットも採用しています。機械は非常に堅牢で、最も厳しい条件下でも信頼性と信頼性の高い操作を提供します。さらに、アプライドマテリアルズEndura IIには、エッチング加圧チャンバーを監視する環境センサーが搭載されており、エッチング工程の安定性と再現性を確保しています。Endura IIの堅牢な性能は、エッチングチャンバーで終わることはありません。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura IIには、プロセス制御の自動化とワークキュー管理の改善を提供する高度な階層ワークフローが含まれています。この強力な自動化機能により、ウェーハの高速ロードとアンロードが可能になり、エッチング処理のダウンタイムとバリエーションの両方を削減できます。AMAT Endura IIは、比類のないエッチング精度とスループットを提供する先進的な原子炉です。APPLIED MATERIALS Endura II Process Control and Analysis Softwareは、包括的なイベント制御、プロセス監視、分析を提供します。さらに、このツールの高度で単一の分散トランスポート資産およびワークキュー管理機能により、より迅速で効率的かつ堅牢な操作が可能になります。これらの機能のおかげで、Endura IIは厳密な寸法制御要件を備えた大量のエッチングジョブに最適なソリューションです。
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