中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293616136 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、マイクロエレクトロニクスなどの薄膜の成膜に広く使用されている最先端の原子炉です。真空システム、プロセスチャンバー、電源、エンドエフェクタアームの4つのコンポーネントで構成されています。真空システムは、原子炉が適切に動作するために必要な超高真空環境を作成するために責任があります。これには、10-7 mBarマークの近くの圧力を維持するように設計されたポンプ、バルブ、およびゲージのシリーズが含まれます。さらに、真空経路に沿ったOリングのような材料は、不要な小さな粒子の輸送を最小限に抑えるのに役立ちます。Tプロセス室は原子炉の主要な構造成分である。それは物質的な供給および避難を可能にする多数の港が付いている大きい、円柱容器です。内部には、半導体基板、通常はシリコン、ターゲット基板材料（酸化ケイ素など）を保持できる静電チャックが含まれています。また、蒸発器、電源、ガス入口、ソースのサーマルコントローラなど、他の多くの機器を収容しています。この電源により、原子炉はチャンバ内の電極と基板の間に電圧差を生じさせることができます。この電圧を変更することで、基板上にさまざまな薄膜を作成することができます。エンドエフェクタアームは基板をチャンバの周りに移動させ、必要なワイヤの数を減らすことができます。AKT Endura IIは非常に汎用性が高く精密な楽器です。真空システムと電源を慎重に校正することで、誘電体、半導体などの高精度なコーティング層を相対的に容易に製造することができます。優れたコンフォーマル特性を持つ極めて薄いフィルムを作成することができ、高収率、低消費電力、および優れた性能を持つデバイスを製造するために使用することができます。