中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293616134 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura IIは、チップの高スループット、費用対効果の高い製造のために設計された、高性能の窒化チタン(TiN)蒸着炉です。AMAT Endura IIは、大容量チップ生産用の大容量チャンバー設計と大容量スループットを備えています。装置は完全に自動化されており、精密なプロセス制御と精密な最終製品を可能にします。このシステムは、生産設備に簡単に統合するための直接制御とリモート制御の両方を提供します。アプライドマテリアルズEndura IIは、2つの異なる成膜構成を可能にするデュアルカソード装置です。これにより、プロセスの柔軟性を最適化し、プロセスを正確なパラメータのセットにカスタマイズすることができます。TiN層は、基板の様々な厚さや向きに堆積することができます。単位はTiN層を熱的に沈殿させるか、またはスパッタ沈殿させるために形成することができます。Endura IIは蒸着プロセスの精密なガス配達そして精密な制御を提供します。シングルパスまたはマルチパス蒸着用に設定できます。このマシンには、プロセスの最適化と最終製品制御のための高精度のin-situ厚さモニタが装備されています。このツールには複数のデータ収集ポートがあり、プロセスの現場監視とポストプロセス分析を容易にします。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura IIは、高度な温度フィードバック管理ハードウェアとソフトウェアを提供し、プロセス全体にわたって正確な温度制御を保証します。このアセットは、プロセス環境のリアルタイム監視を可能にする自動圧力監視モデルにも設定可能です。また、複数の設定可能なアラームと自動シャットダウン機能を備えており、従業員の安全性と製品の清潔性を確保しています。AMAT Endura IIは、ダウンタイムの短縮とメンテナンスコストの削減により、より高い歩留まりを提供します。部屋は速く、容易なクリーニングおよび維持のために設計されています、最小システムのダウンタイムを可能にします。部屋にまた維持およびクリーニングを容易にする取り外し可能なドアがあります。アプライドマテリアルズEndura IIは、Siフラックスの改善と収率の向上によりランニングコストを削減するように設計されています。
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