中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293615241 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、高度な材料蒸着プロセス用に設計された高度な原子炉です。ポリシリコン、シリコンゲルマニウム、Pt/Au、 high-k/metal-gate、中間誘電体層など様々な材料を堆積することができます。ハイエンド集積回路製品のハイスループット・ノンオブサイト生産を誇り、半導体業界においてこれまでにないレベルの生産性と柔軟性を提供します。AKT Endura IIは、最大4基の独立した原子炉をX-Yに配置し、最大52基のサーマルローカライズ納入システムを備えた大規模なクラスタツールです。Endura Control Consoleと組み合わせることで、5〜500nmの堅牢で正確なマルチプロセス成膜が可能になります。リアクターは、プロセス結合型のハイスループットウェーハ洗浄も可能です。均一なプロセス機能、全方向のソースツーサブストレート機能、包括的な安全機能を備えています。この原子炉は、250°Cまでの基板温度と、+/-1000Vまでの基板バイアスを完全に熱制御できるプロセス柔軟性を備えています。これにより、IC製品ではしばしば必要とされる複雑な高アスペクト比の機能を成膜することができます。また、独自のrf変調機能を備えており、誘電層やPt/Auなどの材料の3Dパターニングを可能にします。また、3つの交換可能なガス注入モジュールを備えており、1サイクル内のガス混合チューニングまたは不活性ガス室の変化を可能にします。AMAT Endura IIには、センサーや診断ツールからのフィードバックを利用してプロセスパラメータを表示し、貴重なシステム整合性情報を監視する意思決定ベースのシステムがあります。これにより、原子炉は周囲環境、温度、圧力などのさまざまなパラメータをすばやく理解して適応することができます。また、予期しない状況によるダウンタイムの発生を防ぐのにも役立ちます。最後に、APPLIED MATERIALS Endura IIは、仮想診断、プロセスパラメータ調整、およびいくつかのセキュリティ機能を組み込んだ直感的なユーザーインターフェイスを利用しています。これにより、プロセス全体を合理化し、これまで以上に使いやすく効率的になります。その結果、汎用性、柔軟性、効率性に優れたツールが得られ、高度な材料沈着に伴う時間と労力を大幅に削減できます。