中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293615240 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、半導体および関連産業における複数のCVD、エッチング、拡散プロセス用途向けに設計された原子炉です。これは高度なツールであり、優れたプロセス性能、再現可能な結果、スループットの向上、および寿命の延長を提供することができます。AKT Endura IIは、デュアルまたは単一のマイクロ波RF （Radio Frequency）ジェネレータを使用してウェーハ表面のエッチングに必要な電力を供給するインラインRIE （Reactive-Ion Etch）ツールです。2チャンバー構成では、エッチングプロセスに最大2つのエッチングガスを使用できます。このツールは、リニアスキャン電子ビーム（ESB）を備えており、反応ガスを除去し、エッチング深度を正確に制御します。ESBは、小規模構造エッチングのサポートにも役立ちます。AMAT Endura IIのEndura RIE （E-RIE）技術は、エンドポイント依存性を最小限に抑えながら、半導体構造の均一なエッチングを実現します。アプライドマテリアルズEndura IIは、電力制御、温度制御、フロー制御、露出時間制御、反応イオンエッチングなど、幅広いプロセス制御機能を提供します。また、基板の柔軟性が高く、新しいプロセス環境への容易な適応が可能です。Endura IIは、エッチングおよび蒸着アプリケーション用に設計されており、ユーザーは同じチャンバー内で両方のプロセスをシングルステップで実行することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIには、プロセスオートメーションと最適化を可能にする独自の組込みソフトウェアが搭載されています。このソフトウェアは、プロセスの再現性、全体的な歩留まりの向上、IC製造の信頼性の向上にも役立ちます。このツールには、ハードウェアとソフトウェアの両方の安全対策が組み込まれており、プロセスと人員の安全を確保しています。さらに、モジュール式の設計により、簡単な設置、セットアップ、メンテナンスが可能です。AKT Endura IIは、高品質の半導体デバイスの製造用に構築されており、優れたプロセス制御と最適化機能を提供します。コンパクトなフットプリントと効率的な操作により、生産現場と研究開発アプリケーションの両方に適しています。ユーザーは信頼性が高く、繰り返し可能な結果とスループットの向上を享受できます。