中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293593136 を販売中
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ID: 293593136
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
PVD System, 12"
Process: Copper
Factory interface
PRI AC Box
SEC AC Box
(3) RF Generator racks
DI Water cooler
(2) Cryo compressors
Process chamber (1 / 4): Encore II Tan
Process chamber (2 / 3): Encore II Cu
Process chamber (C / D): RPC
Process chamber (E / F): Degas
(2) Electric distribution boxes
N2 Gun
ALCATEL ADS1202H Loadlock pump
ALCATEL ADS1202H Xfer pump
ALCATEL ADS1202H Pump (Chamber C)
ALCATEL ADS1202H Pump (Chamber D)
EDWARDS iH1000 Pump (Chamber E)
EDWARDS iH1000 Pump (Chamber F)
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(2) / 0242-81627 / NSO Kits, XP Robots with enhanced high temp wrists and shipping case
(4) / 0010-29842 / Robot wrists CIP V2.3
(4) / 0200-06355 / Blades, ceramic open pocket conductive (ACB Blades)
(1) / 0190-25290 / LM Darp edge grip end effector KI (FI Robot blade)
(4) / 0190-41393 / NSK Drivers, 2-axis servo, 110 VAC F47
(1) / 0090-01629 / Assembly, transfer interlock with pos 5, 300mm
(1) / 0090-00353 / MF Buffer interlock PCB
(1) / 0190-24115 / PCB, CDN391R, D-I/O, 300 mm Endura
(2) / 0190-32372 / PCB, CDN396R, A-I/O, 300 mm Endura
(1) / 0190-05682 / PVD Dual chamber degas 208 V heater driver (Degas heat driver)
(1) / 0190-26701 / 0190-43081 / PVD 208 V Dual swill lamp degas driver (Degas lamp driver)
(1) / 0190-54040 / 0190-64793 / On-Board IS Controller (IS2000V Compatible) remote / Pump right mount (IS Controller)
(2) / 0190-54044 / 0190-64799 / Cryo compressors, 208 VAC Mit-ready 300 mm Endura II
(6) / - / Process chambers
(2) / - / RF Generator racks
(1) / - / Xfer Pump
(1) / - / Load lock pump
(4) / - / Chamber pumps (C,D,E,F)
(1) / - / DI Water cooler
(2) / - / Cryo compressors
(1) / - / FI Robot
(1) / - / FI Robot driver
(1) / - / XP Robot driver
(3) / 0190-41014 / LP PCBs
(2) / - / LP EV Modules
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、幅広い先端材料の成長のために特別に設計された先進的な熱CVD炉です。この原子炉は、Epi、 MOCVD、金属合金CVDなどのプロセスを実行することができます。自動化されたマスフローコントローラや熱処理モジュールなどの機能を搭載し、成長パラメータの高度な制御を可能にします。この強力な熱CVDチャンバーは、耐久性と長期使用のためのステンレス鋼や他の耐食性材料で作られています。この原子炉には直径25cmの石英ボートが搭載されており、ユーザーは成長領域を最大限に引き出すことができます。チャンバー高さ14インチと8インチのウェーハオフセットを組み合わせることで、この原子炉は高度な蒸着プロセスに最適です。AKT Endura IIリアクターには、PC制御プロセスコントローラ、高度な2D/3Dパターンジェネレータ、およびその他の関連コンポーネントなど、フルセットの自動制御も含まれています。この機能は、化学成長プロセスを正確かつ正確に制御するのに役立ちます。チャンバーには、プロセスの柔軟性を高めるために設計された内蔵の真空送風機も含まれています。AMAT Endura IIリアクターは、クローズドループ温度制御や圧力制御などの高度な制御技術を使用して、最大10W/cm2の負荷率を備えています。原子炉は不活性ガスと反応性ガスの両方で動作することができます。さらに、Endura IIは、不要な汚染物質や粒子を除去するのに役立つカスタムフィルトレーションシステムで動作するように設計されています。この高度なCVDツールは、高いガスフラックス、高い均一性、高スループットを備えており、ユーザーは最も要求の厳しい要件を満たすことができます。APPLIED MATERIALS Endura IIは、小さなフットプリントで囲まれたデザインで、生産環境に簡単にフィットします。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIは、高度な蒸着プロセスに必要な高度な能力を備えた先進的な原子炉です。
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