中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293587508 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura IIリアクターは、幅広い化学反応とプロセスを実行するための強力で正確なプラットフォームを提供する最先端の化学蒸着システムです。この原子炉は、化学環境でガス種を導入し制御する低コストの非熱手段です。化学蒸着、誘電体薄膜蒸着、薄膜エッチング、化学ガスエッチングなどの高度な機能を備えています。AKT Endura IIリアクターは、反応室に注入されるさまざまな化学種を使用し、気体前駆体と組み合わせて薄膜またはエッチングパターンを形成します。マイクロ波発電機は、低圧で原子炉のプラズマを生成するために使用され、化学反応を促進します。薄膜堆積の場合、リアクタントは典型的にはポリマーまたはシラン（SiH4）である。基板は原子炉の中央に置かれ、反応種は原子炉周辺にあるコンセントからチャンバーに注入されます。基板は、薄膜堆積を促進するために、熱エネルギーと化学エネルギーの両方にさらされます。化学エッチングには、フッ化水素（HFC）、パーフルオロカーボン（PFC）、フッ素系プラズマなど、さまざまなエッチング剤が使用されています。エッチングを組み合わせることで、エッチングの深さを高めることができます。プラズマは磁場によって生成され、コイル内の電流を変化させることによって生成されます。基板の化学エッチングを加速するプラズマを生成します。AMAT Endura IIリアクターには、反応条件とプロセスパラメータを正確に制御できる複数のセンサーが装備されています。これらのセンサは、陽極陰極ギャップ、ヒーター温度、蒸着速度、ガスレベル、プロセスガス圧力および温度を測定するために使用され、異常が発生した場合に検出およびアラームを発生させることができます。アプライドマテリアルズEndura IIリアクターは、プロセスエンジニアのための高精度で費用対効果の高いソリューションです。薄膜成膜やエッチングの条件を迅速かつ正確に準備できるため、幅広い業界での使用に最適です。フレキシブルで汎用性に優れ、太陽電池からフラットパネルディスプレイまで高品質なフィルムを実現します。