中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II PreClean XT Turbo #9150312 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II PreClean XT Turboは、半導体製造プロセスで使用するために設計された温度制御炉です。これは、熱酸化、急速な熱処理、反応性イオンエッチング、フォトレジストストリップなどの高温プロセスを実行できる堅牢で多機能な原子炉です。その二重壁の水晶微粒化設計は、プロセス室全体にわたって均一な温度制御を保証し、低温勾配を維持します。AMAT Endura II PreClean XTターボリアクターには酸素濃度を調整するための酸素バルブが装備されており、プロセス条件を正確に制御できます。流量はプロセスのための最適な空気/酸素混合物を保障するために絶えず調節可能です。低温のPreCleanプロセスは、反応チャンバー内の潜在的な汚染と粒子の蓄積を低減し、ダウンタイムとメンテナンスを最小限に抑えます。プロセスチャンバーは、アウトガスに対する優れた保護と、プロセスの再現性と一貫したウェーハ間処理を提供するように設計されています。また、粒子や不純物を除去するだけでなく、金属イオンの汚染を低減するための高度なろ過システムにより、粒子や金属イオンの汚染を最小限に抑えます。また、データロギング、レシピ処理、プロセスプロファイリング、故障診断を提供する高度なコントローラも備えています。APPLIED MATERIALS Endura II PreClean XTターボ炉の使い勝手は、オペレータが提供するすべての利点を利用できるようにします。グラフィカルユーザーインターフェイスを介して動作する自動システムで、簡単にレシピを作成して保存できるソフトウェアパッケージが付属しています。また、直径200mmまでの幅広いウエハサイズに対応できるように設計されています。全体的に、Endura II PreClean XTターボは、高温プロセスに優れた性能を提供する堅牢で信頼性の高い原子炉です。その高度な機能は、再現性、均一性、および精度を確保し、ダウンタイムとメンテナンスを最小限に抑え、チャンバー内の粒子および金属イオン汚染を低減するのに役立ちます。ユーザーフレンドリーな設計により、あらゆる半導体製造プロセスに最適です。