中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II Aluminum Interconnect #293813004 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura IIアルミインターコネクトリアクターは、大きなウェーハサイズにわたって均一性の高いアルミニウムフィルムをエッチングするように設計されたプラズマベースのエッチング装置です。このシステムは、アルミニウムフィルムに損傷ストレスや汚染を発生させることなく、精密かつ高解像度の機能を生成することができます。Endura IIリアクターは、高度な超高真空（UHV）環境と毎秒20dischargesの範囲の電源を使用して、高品質のエッチングユニットを作成します。Endura IIリアクターは、単層構造と複層構造の両方で、多種多様なアルミニウム相互接続を処理するように設計されています。一貫したエッチング速度と均一性を実現するために、Endura IIは放電電力、電圧、周波数を調整できます。機械はまた異なった構造および構成層のために最適化するために容易に調節することができます。Endura IIはまた、ウェーハが所望の位置に留まり、プロセスが制御されていることを確認するための高度なウェーハ制御およびアライメント技術を備えています。Endura IIリアクターは、高い生産性と低い所有コストのために構築されています。自動ロード/アンロード、低レベルのメンテナンス要件、ウェーハ処理機構の向上などのコスト削減機能を備えています。ダウンタイムとメンテナンスコストを最小限に抑え、高い歩留まりを提供するように設計されています。Endura II原子炉は、AMATの先進技術と包括的なサービスに裏打ちされています。これには、シミュレーションされた高度なプロセスソリューションと、エッチングプロセスを完全に制御できる包括的なプロミス監視プログラムが含まれます。Endura IIリアクターは、アルミニウム相互接続のメーカーにとって信頼性が高く、効率的な誘電エッチングオプションです。