中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura HP #9296943 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura HP
ID: 9296943
ウェーハサイズ: 6"
PVD System, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HPは、シリコンウェーハ、ガラス、石英、セラミックスなどの幅広い基板に超薄層の動的材料を堆積するために使用される高性能の化学蒸着(CVD)リアクターです。汎用性と堅牢な設計により、シリコン太陽電池、半導体製造、光学、MEMSなど、幅広い用途に適しています。AMAT Endura HPは、ユニークな6面クォーツチューブを備えたラジカルな新しいデュアルアキュムレータ設計を採用しています。この最先端の設計により、ユーザーはソースゾーンに依存しないプロセスゾーンの温度を自動的に調整できます。これにより、ガスの流れを正確に制御することが可能となり、150〜1050°Cの蒸着温度で基板表面全体の優れた均一性を実現します。さらに、特許取得済みの均一性制御機能を備えたアプライドマテリアルズのEndura HPは、再現可能な精度で0。5 nmまで均一な層を堆積させることができます。Endura HPには、統合されたデュアルロードロックシステムとクォーツボートプリクリスパー、およびハードマスク材料の均一な蒸着のための高度なRFソースなど、さまざまなモジュールが装備されています。これらの機能を組み合わせることで、プロセスの柔軟性を高め、サイクルタイムを短縮し、電気アプリケーションと光学アプリケーションの両方で優れた均一性を実現できます。また、独自の統合マスフローコントローラ(I-MFC)を搭載しており、クローズドループ機のガスフローを正確に監視および制御できます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HPは、サードパーティのベンダーからのオートメーションハードウェアとソフトウェアの統合を可能にするさまざまなオプションを備えています。これにより、既存の生産ラインとのシームレスな統合が可能になり、多くのルーチンタスクを自動化することで生産性を向上させることができます。ユーザーのリソースを最大限に活用するために、AMAT Endura HPには高度な故障診断、ステータスインジケータ、リアルタイムデータフィードバックが含まれており、ユーザーはプロセスの生産を最適化できます。応用材料Endura HPは、ユーザーフレンドリーで堅牢で信頼性の高い設計です。その複数のプロセスゾーンとプリクリスパーにより、迅速で正確な操作が容易になり、ユーザーはすばやく望ましい結果を得ることができます。その先進的な技術と革新的な機能により、多くの産業ニーズに対応する費用対効果の高いソリューションを確保し、厳しいアプリケーションに最適です。
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