中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura HP #293830651 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HPリアクターは、集積回路を作成するために使用される半導体プロセス装置の一部です。多種多様な気体において高精度で均一なポリシリコン構造物の製造を容易にするために設計された、シングルウェーハ低圧化学蒸着(LPCVD)装置です。AMAT Endura HPは、厚さが1ナノメートル以下の層を生成することができます。このシステムは、ウェーハの直径にわたって最大5。5インチのユニフォームを達成することができ、合計5種類のプログラム可能なウェーハサイズを用意しています。また、調整可能なスパッターエッチング、in-situプリクリーニング、およびポストクリーンプロセスを提供します。それに他の装置およびいろいろな材料と容易に統合することを可能にするモジュラー設計があります。この機械は、最大1,140°Cの最高温度に達する高温動作用に設計されています。これにより、高性能で高純度の蒸着環境が保証されます。高品質のガス配分設計により、ウェーハ全体の均一性を確保し、材料の一貫した沈着を実現します。このデバイスは、変化するプロセス要件に迅速に対応するための最大限の柔軟性を備えています。そのオートメーションツールは、高度なプラズマベースの資産制御を使用して達成することができ、半自動およびフルオートモードを提供します。フロントエンドローダーは、標準ウェーハとランダム方向ウェーハの両方のウェーハのロードとアンロードを提供します。シングルウェーハまたはバッチモードで、最大21個のウェーハを同時に操作できます。APPLIED MATERIALTS Endura HPは信頼性が高く、定期的な校正を必要とせず、メンテナンス性も低くなっています。そのプロセスと時間管理機能は、時間と無駄を削減し、プロセスの品質を維持するのに役立ちます。さらに、手動非常停止、セーフガードドア、ユーザープロンプトなど、さまざまな安全機能を備え、ユーザーと環境の安全を確保します。全体として、Endura HPは、さまざまな半導体材料に精密で均一な蒸着を提供するように設計された先進的なLPCVD装置です。その幅広い機能と機能により、さまざまな製造アプリケーションに最適です。
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