中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura HP #293625477 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HPは、プラズマ処理および化学蒸着（CVD）アプリケーション用に設計された高性能プロセスリアクターです。AMAT Endura HPは、Endura CVDシステムの標準ラインからのアップグレードであり、多くのリアクタ構成で基板スループットを大幅に向上させることができます。アプライドマテリアルズEndura HPは、最新の最新のプラズマおよびCVDプロセスを搭載した独自の高圧高温（HPHT）エッチングチャンバーを備えており、製造プロセスの柔軟性とウェーハ表面全体の均一性を向上させます。HPHTの部屋は高級なSS304ステンレス鋼、優秀な酸化アルミニウム絶縁材と組み立てられ、他の標準的なCVDシステムと比較される優秀な均一性を提供します。この設計は、クリーンアップとメンテナンスコストを削減することで、より効率的です。Endura HPにはGraphite- Enhanced Inductively Coupled Plasma （GEICP）ソースが搭載されており、最適な原子炉の性能に調整可能です。GEICPソースは、優れたプラズマの均一性、ウェーハ間の一貫性の向上、プラズマおよび蒸着プロセスに対するより細かい制御を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HPは、高度な温度制御機能も備えています。プロセスチャンバ内の任意の場所で温度と圧力を直接制御できるため、特定のアプリケーションやウエハータイプに合わせてさまざまなプロセスを調整できます。AMAT Endura HPは、複数のプロセスモジュールと高度な材料沈着アルゴリズムを実行するように構成できます。これにより、優れた生産性を実現し、基板スループットのメリットを最大化しながら、層厚の均一性を最適化します。これにより、歩留まりの向上、所有コストの削減、優れたウェーハ品質が得られます。APPLIED MATERIALTS Endura HPには、エンドポイント監視機能と高度な分析ソフトウェアも含まれています。全体として、Endura HPは、パフォーマンス、生産性、利便性を最適にブレンドするために特別に設計された高度な高性能CVDプロセスリアクターです。高度なGEICP調達と高度なプロセス制御および温度制御機能により、AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HPリアクターは、プロセス時間の短縮と所有コストの向上により、優れたプロセス均一性、再現性、および歩留まりの可能性を提供できます。