中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9390615 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは材料蒸着用の原子炉です。CVD、 PECVD、 ALDなどのシリコンベースの蒸着システムで使用するために設計されています。AMAT Endura CLは、ホットウォールの垂直ダウンセラミックラインシリンダー設計を介して動作します。ウェーハ表面の均一性、クリーンインプレイス（CIP）機能の向上、長期間にわたる耐久性を実現します。原子炉は、ヒーター、ソースガス、シャワーヘッド、HF/RFバイアス、フィラメント、アノード、グリッド、バッフルなどのいくつかのコンポーネントで構成されています。応用材料Endura CLの中心の抵抗発熱体はモリブデン（またはタングステン）のフィラメントから成っています。この要素はDC力の3。25 kWまで動力を与えられ、925°Cまで温度が可能です。ヒーターはエピタキシャルの成長、フィルムの沈着、および熱アニーリングを含むプロセスの広い範囲が、可能です。原子ガスは、原子炉の上部に接続されたガス多様体を介してEndura CLに供給されます。最も一般的に使用される2つのガスは、シラン（SiH4）とジボラン（B2H6）です。このプロセスでは、最大4つのガスを使用できます。流量とチャンバー圧力を慎重に監視し、最適な蒸着条件を確保します。原子炉上部のシャワーヘッドは、反応室にガスを均等に分配するように設計されています。HF/RFバイアス、フィラメント、アノードが結合して、ウェーハ表面をエッチングする電気ポテンシャルを提供します。グリッドとバッフルは、生成されたプラズマを含むために使用されます。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLリアクターは、薄膜成膜から熱アニーリングまで、シリコンウェーハの製造過程で広く使用されています。堅牢なヒーターとソース・ガスの組み合わせにより、AMAT Endura CLは大量生産のための信頼性が高く効率的な原子炉の選択肢となります。優れた品質、均一性、および他の原子炉よりも高いスループットでフィルムを堆積することができます。応用材料Endura CLは長期、有効な生産のための理想的な選択です。