中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9378809 を販売中

ID: 9378809
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
PVD System, 12" 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、最新の高度なIC製造のニーズに合わせてカスタマイズされた高度なマルチチャンバー生産炉です。このチャンバーは、汚染のリスクを低減し、費用対効果の高い最高品質のICを製造するように構成されています。AMAT Endura CLリアクタは革新的なモジュラー設計を備えており、平面または3Dレイヤーのいずれかに簡単に設定できます。低圧シングルウエハ環境により、生産されるICごとに最大の収率を確保できます。大型真空ベーキング装置と強力な酸化チャンバーを搭載し、高度なIC加工に必要な一貫した生産ラインを実現します。APPLIED MATERIALTS Endura CLリアクターのアーキテクチャは、プロセス制御と精度が製造プロセス全体にわたって維持されるように設計されています。それは各部屋の精密な温度調整のための理性的な、複数の地帯の温度調整システムが装備されています。また、スループットの向上、応答時間の短縮、全体的な均一性の向上を可能にする、低質量、高速転送ユニットを備えています。Endura CLリアクターはまた、環境保護に役立つ高度な技術で設計されています。CDM (Chemical Delivery Module)は、化学物質が大気中に脱出しないようにするために、閉じた化学供給機を使用しています。さらに、この原子炉は、最も厳しい環境基準と安全規制を満たしています。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLリアクターは、今日の集積回路の近代的な要求に応えるように設計された、洗練された、信頼性の高い、費用対効果の高い高度なIC製造ツールです。低圧操作、低質量移動、インテリジェントな温度制御、化学配達モジュール、および厳しい環境および安全規制などの高度な機能と組み合わされたモジュラー設計は、歩留まりを増やし、コストを削減しようとするICファブリケーターにとって理想的な選択肢です。
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