中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9313580 を販売中

AMAT Endura Cluster （CL）リアクターは、シングルウェーハ、高温、高真空プロセスチャンバーです。この革新的なコンデンサ安定化された誘導結合プラズマツールは、高いプロセス均一性、生産性、信頼性を提供する、最も困難な製造ニーズに対応して設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLリアクターは垂直形状設計を採用しており、対象ウェハが全領域にわたって均一なプラズマ条件にさらされることを保証し、大きなウェーハ領域にわたって非常に厳密にプロセスパラメータを制御できます。Endura Clusterリアクターの高真空環境は、再現可能なプロセス結果を達成するとともに、コンポーネントの寿命を最大化する上で重要です。低圧はシステム内の要素の拡散を減らし、より速い基質の暖房および冷却を可能にし、プロセスのあらゆる不必要な粒子を吸収します。可変圧力と温度範囲により、エッチング、蒸着、ストリップ、ALD、 CVDなど、さまざまなプロセスが可能です。AMAT Endura CLは、特許取得済みの誘導結合プラズマ源を使用しており、優れた均一性と安定性を提供します。電極設計のクラスタ構成により、均質なプラズマ電流が発生するため、エッチング速度または蒸着速度はウェハ全体にわたっても高くなります。コンデンサ安定化された電源により、電流レベルがプロセス全体にわたって均一に保たれ、再現性のある性能と優れた歩留まりが得られます。プロセス制御に関しては、APPLIED MATERIALS Endura CLが優れた再現性と高精度を提供します。システムの高度な分散フィードバック制御システムは、レシピパラメータが高精度で追従することを保証し、毎回正確で再現性の高い製造結果をもたらします。プリスキャンされたサセプター傾斜技術により、ウェハボウを最小限に抑え、基板カバレッジを最大限に高め、最終的にはより均一な加工につながります。Endura CLは、さまざまな高度な製造ニーズに最適です。そのインテリジェントで信頼性の高いプラットフォームは、多くの要求の厳しいアプリケーションのためのgo to reactorになります。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLを介して提供される信頼性の高い、繰り返し可能で均一なプロセスは、スマートシステムと組み合わせることで、あらゆる最先端の生産環境において不可欠なツールとなります。