中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9281790 を販売中

ID: 9281790
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
PVD System, 12" 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、高度な金属化と誘電性コンフォーマルコーティングを提供するために設計された高度に洗練された成膜ツールです。この機械は、マイクロエレクトロニクス、自動車、光学、医療技術など、さまざまな業界で使用される最先端のデバイスの費用対効果の高い開発を可能にするために設計された、エンデュラファミリーの堆積システムの一部です。AMAT Endura CLは、高性能な薄膜成膜技術の最新の進歩により、優れた精度とスピードで基板のパターニング、パッケージング、統合、イメージング、検査のための最も効率的な多層システムの作成を可能にします。基板やターゲット材料の柔軟性が高く、電気めっき、物理蒸着(PVD)、化学蒸着(CVD)など幅広いプロセスに対応します。APPLIED MATERIALTS Endura CLは、基板上に立体的なミクロンスケールのコンフォーマルコーティングを作成することも可能であり、これまで以上に微細な特徴分解能を得るために蒸着層をインターリーブするようにプログラムすることができます。Endura CLは、最も要求の厳しい処理環境で高性能を提供するように設計されています。プラズマアシスト処理チャンバは、エンドポイントをタイムドパルス制御できるクローズドループシステムに基づいています。これにより、高精度な基板洗浄が可能となり、室温から10,000°Cを超える温度の信頼性の高い動作が可能になります。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLには、最大120個のウェーハを内蔵した基板ローダーが搭載されており、素早く正確な基板交換が可能です。オペレータ制御は完全なマウス、キーボードおよびフィートのペダル制御が付いている25"タッチ画面のコンピュータコンソールと提供されます。このマシンはまた、統合されたプロセス制御レポートツールの包括的なスイートを提供し、自動化された基板前処理および後処理の検査を可能にし、パフォーマンスに関する即時フィードバックを提供します。その他のプロセス機能としては、窒素バブラーなどの窒素バブラーや、ナノ構造やナノスケールのコーティングを容易に堆積させるための高エネルギービーム蒸着銃など、さまざまなアクセサリを装備することができます。APPLIED MATERIALS Endura CLには、スループットを最大化し、ミスを軽減するための、多数の自動ユーザーフレンドリーな制御オプションが付属しています。さらに、プロセス制御精度を向上させるために、独自のアクセラレータテクノロジーコントロールモジュールも利用できます。Endura CLは、現在入手可能な最も先進的な成膜システムの1つであり、長期間にわたって正確なコーティング安定性を実現し、さまざまなアプリケーションで基板の均一性を実現します。高度な機能と優れた機能を備えたAMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、高度な薄膜成膜で優れた性能を求める人に最適です。
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