中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9281539 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL装置は、高度な集積回路（IC）製造用に設計されたシングルウェハプロセスツールです。このシステムは、機能、技術、品質、および信頼性の理想的な組み合わせを提供するために設計されています。これには、サイクル時間を最小限に抑え、ユーザーの介入を最小限に抑える自動および手動のプロセス最適化機能を提供する高度なコントローラが含まれています。AMAT Endura CLユニットは、いくつかの異なる標準プロセスチャンバーと最新のプラズマソース技術を組み合わせており、高度なプラズマ強化化学蒸着（PECVD）プラットフォームに基づいています。この機械は、高効率の誘導結合プラズマ（ICP）源を使用して、チャンバー内で均一で均質なプラズマを生成し、ウェーハからウェーハまで一貫したプロセスウィンドウを提供します。これにより、再現可能なプロセス制御が可能になり、高度な製造における歩留まりと信頼性の向上に不可欠です。さらに、APPLIED MATERIALTS Endura CLツールは、薄膜蒸着用の高真空スパッタ源を使用し、汚染を排除し、高品質のプロセス結果を保証します。この資産は、さまざまなプロセス要件に対応して設計されています。最大6つのプロセスモジュールをサポートし、Cleanroom環境またはClass 1環境でテストを処理できます。また、最適な結果を得るために、プロセスの「オンザフライ」監視と制御を行うこともできます。プロセスの時間的および空間的均一性は、さまざまなプロセスレシピと革新的なプロセス制御によって達成することができます。Endura CLモデルは、高精度制御の加熱、冷却、および対流システムを提供し、チャンバー全体で一貫した温度制御を保証します。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL装置には、高いスループット、正確なウエハハンドリング、安全なサンプル管理機能があります。直感的で自動化されたウェハハンドリングシステムにより、高速なサンプル転送が可能になります。また、ウェーハシミュレータを使用することで、手動サイズの測定が不要になり、データ取得における誤りが軽減されます。AMAT Endura CLユニットは、信頼性の高い製造品質を提供しながら、コストを削減し、サイクルタイムを最適化するように特別に設計されています。このマシンはまた、包括的なテクニカルサポートとトレーニングプログラムによって支えられており、ユーザーがツールを操作するための知識、ツール、サポートを確実に備えています。この新しい資産は、費用対効果の高い高度なIC製造のためのシングルモジュールプラットフォームを提供するように設計されています。