中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9281524 を販売中

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL Reactorは、高度なマイクロエレクトロニクスデバイス製造用に特別に設計された高度なクラスタツールです。この原子炉は拡張可能なクラスタシステムを利用しており、お客様にデバイスのパフォーマンスを向上させるための柔軟性とアップグレード性を提供します。AMAT Endura CL Reactorは、サブストライドチャンバー（SSC）技術などの一連の優れた機能を使用しており、ウェーハ間のローディングエラーを大幅に低減できます。この技術は、低コスト、低メンテナンス、低静的容量チャンバー充填プロセスの使用に基づいています。APPLIED MATERIALS Endura CL Reactorはプログラミング蒸着（PD）機能も利用しています。この特徴は特定の層の均一な沈殿を保障し、4つまでの層の単層そしてデジタル化された沈殿を可能にします。これにより、より迅速で正確な入金が可能になります。Endura CL Reactorは、デバイスのパフォーマンスを向上させるための独自のPlasma Edge Isolation （PEI）テクノロジー機能も提供しています。この機能は、デバイスの漏れを最小限に抑え、エッチング率を向上させ、よりスムーズな堆積をレンダリングするのに役立ちます。さらに、この原子炉には高度なin-situ endpointing （EP）およびフィルム品質センシング（FQS）機能が搭載されており、最適でリアルタイムエッチングとデップの結果を得ることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL Reactorは、業界をリードするプロセスの均一性と堅牢なプロセス制御用に設計されています。これは、連動したダイナミックな4ゾーントラックヒーターと、正確な用量と温度制御を可能にするin-situエンドポイント検出を使用することによって実現されます。AMAT Endura CL Reactorは、ハイスループット、クイックアクセス、低汚染、メンテナンスをサポートする業界をリードするウェーハハンドリングシステムでも構築されています。この原子炉は、急速なクールダウンとウォームアップ時間を提供するように設計されており、高速基板の切り替えと優れたウェーハ間のスループットを可能にします。応用材料Endura CLリアクターは、高度なマイクロエレクトロニクス製造に最適な性能とエネルギー効率を提供します。この原子炉の統合された機能と高レベルのプロセス制御機能は、サブミクロンレベルのマイクロチップやその他の複雑なデバイス構造を最も信頼性が高く効率的に製造することを可能にします。