中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9276760 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、プロセスエンジニアがさまざまな薄膜アプリケーションでタングステン化学蒸着（CVD）を実行できるように設計された原子炉です。この次世代原子炉は、半導体産業に適しており、薄膜半導体デバイスの堆積のためのタングステンやその他の金属層を処理することができます。AMAT Endura CLリアクターは、高度なレベルで高精度で一貫した日焼け止めの均一性を提供します。この原子炉は、低エンド・オブ・ランのウェッジ変動により、信頼性と再現性に優れたCVDプロセスを提供するように設計されています。アプライドマテリアルズEndura CLの統合制御装置は、優れた均一性制御と完全なウエハレベルのプロセス制御を提供します。また、より高いフィラメント容量とオンザフライのトップツーボトムユニフォーム制御を使用することで、工具の迅速な回収が可能になります。さらに、Endura CLリアクタは、高度なウェハローディングとマルチウェハアンロード機能を備えているため、プロセスエンジニアはスループットを最大化し、フットプリントを最小限に抑えることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、最先端のオートメーション技術と組み合わされており、自動洗浄、自動インプロセスウェーハ交換、自動粉末充電などのさまざまなオプションを備えています。AMAT Endura CLには、ミッドプロセス排気スクラバー、ワークスペースの増加などの機能強化もあります。また、高度な自動化により、正確な蒸着とプロセス制御を実現しています。特徴は精密で、再生可能な性能を保障する統合された、自動温度調整の単位を含んでいます；精密で反復可能なガス配達のための統合されたガスの流れのバランスの制御機械；そして高められた精密制御および均等性のための沈殿の制御用具。さらに、APPLIED MATERIALS Endura CLアセットは、高度な安全機能により生産性と信頼性を向上させます。原子炉には緊急シャットダウンスイッチが装備されており、オペレータがそれを必要とするときにモデルの即時シャットダウンを提供します。装置にまた操作の間に手動ガスバルブの調節の必要性を避ける自動ガスシャットダウンの特徴があります。Endura CLリアクターは、高精度、一貫したタングステンCVDプロセスを必要とし、スループットとコスト効率の向上を求めている半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。リアクターには、信頼性の高い再現性の高いパフォーマンスを最小限に抑えながら、高い均一性でウェーハを処理するために設計されたさまざまな機能が含まれています。