中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9275824 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL （Cluster Reactor）は、半導体産業で先進的なウエハ加工に使用される最先端の化学蒸着（CVD）クラスタツールです。特許取得済みの設計により、AMAT Endura CLは低粒子生成で高速で均一で信頼性の高いウェーハ処理を提供します。アプライドマテリアルズEndura CLは、熱およびプラズマアシストCVDプロセスとエッチングおよび灰プロセスの両方が可能です。この柔軟性により、装置は複数のウェーハ処理ステップに使用できます。リアクターは垂直7チャンバー設計で、自動ウェハハンドリングシステムを備えています。メインチャンバーの高さは6メートル、直径は1。2メートルで、大小のウェーハの均一な加工に最適です。このチャンバーは、最大200枚のウェーハ層で最大8インチウェーハに対応できます。チャンバーは、化学的コンフォーマル蒸着用に設計されており、粉末および液体前駆体の両方と互換性があります。チャンバーの設計には、ウエハスクラッチやパーティクル生成を防止するための複雑な石英インサートとカバーの範囲が含まれています。Endura CLは、1時間あたり最大500ウェーハの高速処理速度を提供するように設計されており、低消費電力とコストのかかるメンテナンスなしで高いスループットレベルを達成できます。プロセス部屋は汚染を防ぎ、粒子生成を最小限に抑えるために十分に密封され、加圧されます。この原子炉には調節可能なガス流量制御装置と温度制御装置があり、蒸着プロセスの条件を調整することができます。この機械には、高度なプラズマ源とコントローラが装備されており、プラズマ補助エッチングおよびアッシュプロセス条件を正確に制御できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、最も厳格な品質基準に基づいて構築されており、繰り返し可能なプロセス性能を保証します。これは、最先端のウェーハ製造プロセスの要件を満たすように設計されており、生産環境での使用に最適です。最新の安全機能とアラームを搭載し、継続的に安全で効率的な操作を保証します。