中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9251713 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、金属と複雑な有機化合物からなる様々な薄膜を堆積するために使用される先進的な蒸着炉です。それはそれが設計されている適用のために非常に有利である統合された部屋の設計が装備されています。AMAT Endura CLは独自のプロセスチャンバーを採用しており、複数のオフセットを使用することで、基板全体の堆積率の最適な均一性と精度を保証します。プロセスチャンバーはガラス蓋で完全に囲まれており、均一で汚染のない環境を提供します。応用材料Endura CLは、1000°Cまでの蒸着を可能にする高温プロセス機能など、いくつかの高度な機能を備えています。これにより、より高い蒸着温度、均一性、層の厚さとレート制御、およびステップカバレッジの向上とスループットの向上が可能になります。さらに、Endura CLは革新的でユーザープログラマブルな高度な堆積レシピを備えているため、1サイクルで複雑な厚さを達成できます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは複数のレシピを同時に実行することができ、1サイクルでさまざまな厚さの材料を複数の層に堆積させることができます。これにより、追加の処理ステップの必要性が低減され、堆積時間を大幅に短縮できます。AMAT Endura CLは、基板上に一貫したエピタキシャル成長と均一な薄膜蒸着を保証する、強化された沈着制御のための原子ビーム源を備えています。また、マルチゾーンのハイドロダイナミックアドレッシング装置を採用しており、プロセスチャンバー全体に均一なガス分布を提供します。これにより、システムの効率、再現性、生産性が向上します。APPLIED MATERIALTS Endura CLは、数ナノメートルの厚さの層の堆積を可能にする、低い沈着率で設計されています。要約すると、Endura CLは高度な蒸着炉であり、さまざまな材料に対して優れた精度、均一性、および蒸着速度の精度を提供します。それは独特なプロセスチャンバー、高温機能、原子ビーム源およびマルチゾーンの流体力学アドレス指定の単位を特色にします。このマシンは、複雑なマルチサイクル堆積物のためにプログラムすることができ、少数のナノメートルまでの蒸着速度を制御することができます。これにより、AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、ナノスケールフィルムの堆積とプロセスパラメータの正確な制御に最適です。