中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9247978 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、半導体産業における高容量、高精度エッチングおよび蒸着用途向けに設計された高スループットクラスタレベルの原子炉です。AMAT Endura CL炉は、高アスペクト比（HAR）と複雑な構造の両方を1つのステップで処理できます。これは、2つの処理チャンバ、2つのロードロック、前処理チャンバ、後処理チャンバを含む統合クラスタシステムが装備されています。アプライドマテリアルズEndura CLの最初の加工チャンバーは、高密度プラズマエッチングチャンバーです。これは、水素、塩素およびフッ素ベースの化学物質と互換性のある4電極、13。56 MHzのRFプラズマシステムを持っています。また、プラズマ分散用の拡散シャワーヘッド、ガス流量制御用のマスフローコントローラ（MFC）、排気用のターボポンプも備えています。Endura CLの2番目の加工チャンバーは、デュアルコイル平面コイルソースで設計された高速蒸着チャンバです。このマルチチャンバー技術は、同じツールを使用して、複雑な構造とともに、小型、高アスペクト比（HAR）構造の処理を可能にします。このチャンバーには、プロセス制御用のRFおよびDC電源、均一性のための拡散シャワー、および過剰エッチング用の統合スクラバーも備えています。前処理室は前処理の基質を前処理するために使用され、後処理室は汚染から装置を保護し、不要な材料の沈着を防ぐのに使用されています。後処理室には、イオンポンプとエッチング後のパージとクリーニングのための統合スクラバーオプションが装備されています。AMAT/APPLIED MATERIALTS Endura CLのロードロックは、自動化されたフレックスロボットで設計されており、素早く低粒子のローディングとアンロード操作を提供します。ロボットは、円滑な動作を確保し、粒子を最小限に抑えるためにツールセットに準拠しています。AMAT Endura CLは大量生産のために設計されており、オンラインメンテナンスと監視を可能にする24時間リモートモニタリングシステムを備えています。この原子炉は、MEMS、集積回路製品、薄膜デバイスの製造に最適です。これは、幅広い基板、形状、材料、およびプロセスを処理する能力を備えた効率的なマルチチャンバーエッチングおよび成膜ツールです。