中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9241711 を販売中
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ID: 9241711
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
System, 12"
Main Frame
Accessories
Chamber 1, 2, 3
Rack 1, 2, 3
P3 Module
DEGAS Chamber
DI Chiller
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、太陽電池およびその他の太陽光発電（PV）製品を大量生産するための高性能ポリシリコン化学蒸着装置です。その結果、AMAT Endura CLは、太陽電池業界で最も先進的で信頼性の高いCVDソリューションの1つです。システムの中核には、原子炉の温度と圧力を正確に制御し、均一な特性（粒度、層の厚さ、エッチング率）のきれいなウエハを製造することができるユニークな線形炉があります。これにより、高い処理スループットを実現し、一貫した製品品質を保証します。さらに、このユニットの放射状リアクタント分布アーキテクチャは、ウェーハ全体に均一なポリシリコン蒸着を可能にし、一貫した品質を維持しながらさまざまなプロセスパラメータを調整することができます。APPLIED MATERIALS Endura CLには、温度、圧力、ガスの流れ、リアクタント濃度などのプロセス条件をリアルタイムで監視できるさまざまなセンサーが搭載されています。つまり、Endura CLはプロセスパラメータを自動的に最適化し、目的のセットポイントを維持することができます。このマシンには、レシピ管理、プロセス障害検出、ウェーハ位置決め、データ分析ツールなど、さまざまなソフトウェア機能も含まれています。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、ダウンタイムを削減し、メンテナンスを簡素化するモジュール設計も備えています。主要コンポーネントは高度に構成可能であり、ツールのハードウェアとソフトウェアを簡単かつ迅速にカスタマイズできます。これにより、ダウンタイムを最小限に抑え、プロセスのパフォーマンスを最適化できます。さらに、この資産は、緊急時にオペレータや機器を保護するためのさまざまな安全機能を備えています。要するに、AMAT Endura CLは、太陽電池やその他の太陽電池製品の量産に適した高性能CVD炉モデルです。独自のリニア炉、高度な自動監視システム、ソフトウェア機能、モジュール設計により、高スループット生産と信頼性の高い製品品質に最適なソリューションです。
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