中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9237267 を販売中

ID: 9237267
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
System, 12", parts machine EFEM: 2-Ports and KENSINGTON DEGAS PCII Gen rack Compressor (2) AC Racks Missing parts: VHP Robot Cable 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL反応装置は、お客様がプロセスと材料特性を最適化できるように設計された効率的で信頼性の高い高スループット炉です。AMAT Endura CLは、高精度なインライン多層膜をコスト効率よく製造できるように設計された、高度で自動化された低圧化学蒸着(LPCVD)ソリューションです。APPLIED MATERIALS Endura CLは、1回の実行で最大300mmのウェーハで1つまたは2つのターゲットを同時に処理する垂直ボトムアップ蒸着システムです。ユーザーフレンドリーなインターフェースと直感的なワークテーブルを備えているため、ユーザーは処理プラットフォーム間でウェーハを簡単に転送し、製品パラメータに迅速にアクセスできます。Endura CLは800°Cまでの温度で異なったフィルムを同時に処理する機能の短いサイクル時に高い収率を提供するように設計されています。高度なコントローラは、温度、プロセスガス流量、圧力設定を監視し、複数のバッチを処理する場合でも、再現性と一貫した結果でプロセス条件を正確に制御します。このチャンバーには完全に自動化されたRFマッチネットワークが装備されており、プロセス制御と歩留まりを改善するために最適なプラズマ均一性を保証します。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLを使用すると、複雑で精密なマルチレイヤーフィルムを作成できます。このユニットは、半導体やディスプレイのバックプレーンアプリケーションで一般的に使用される高密度フィルムの範囲を堆積することができます。AMAT Endura CLには、リアルタイムエンドポイント監視機(REMS)や高度均一マッピング(AUM)などの高度な診断ツールも含まれており、プロセスパラメータの迅速な調整と生産歩留まりの最適化を支援します。アプライドマテリアルズEndura CLは、高度な製造業の変化するニーズに対応するために設計されたユーザーフレンドリーで汎用性の高い反応ツールです。それは一貫した、反復可能な結果の精密な多層フィルムを作り出す信頼でき、費用効果が大きい方法です。
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