中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9237067 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL
ID: 9237067
ウェーハサイズ: 12
ヴィンテージ: 2003
PVD system, 12" 2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、生産用に設計された高性能の化学蒸着(CVD)炉です。薄膜成膜・加工、半導体製造および関連産業に活用されており、高度な製造プロセスの不可欠な部分です。AMAT Endura CLは、密閉されたプロセスチャンバー、デュアルパス処理機能、最適化された冷却、および内蔵の避難装置など、精度と効率を最大限に高めるための多くの機能を備えています。密閉されたプロセス部屋は均一な温度配分および優秀な温度の安定性を促進する独特な設計の堅く制御された環境を可能にします。デュアルパス処理により、高度なマルチレイヤーおよびマルチマテリアル蒸着が可能です。冷却システムは、エネルギーとプロセス時間を節約するために最適化することができます。これはガスの純度を維持し、一貫した堆積を可能にします。アプライドマテリアルズEndura CLは、高度なプロセス監視および制御機能も備えています。温度、液体、ガスの流れ、圧力はすべて監視され、プロセスのほぼリアルタイムのビューを作成します。これにより、マシンのパフォーマンスが可視化され、一貫性と精度が向上します。Endura CLは、プロセス全体の安定性が+/-1°Cであり、金属、電気化学、原子層、物理蒸着など、さまざまな蒸着プロセスをサポートしています。また、金属から酸化物、誘電体まで、さまざまな材料を製造することができます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、効率の最大化、スループットの向上、一貫した高品質な結果の提供を支援するために設計された洗練されたCVDソリューションです。高度なプロセス監視、デュアルパス処理機能、最適化された冷却機能により、精密IC、 MEMS、薄膜処理に最適なツールです。
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