中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9191120 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL
ID: 9191120
Chamber AL TxZ CPI-VMO.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、次世代半導体デバイスの製造を可能にするように設計された先進的なPECVD炉です。AMAT Endura CLは、構成可能なプロセスチャンバーアーキテクチャを備えており、さまざまなプロセスレシピに簡単に適応できます。既存の基板、光学フィルム、コーティング、金属との優れた互換性を提供します。APPLIED MATERIALS Endura CLは、革新的でシールドされたデュアル炉の設計により、高度な温度制御を可能にし、プロセスチャンバーの温度を幅広い動作温度にわたって正確に維持することができます。その結果、フォトレジスト、ポリシリコン、その他の材料の均一な層を作成するために、原子炉を使用することができます。さらに、Endura CLは新しいマルチビームシャワーヘッド装置を備えており、処理ガスを均等に分散させることでチャンバー圧力リップルを大幅に低減し、全体的なエッチング速度と均一性を向上させます。さらに、パーティクルの蓄積を最小限に抑え、トータルメンテナンス時間を短縮します。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLはハイエンドのPECVDリアクターであり、最も重要なデバイス製造アプリケーションに比類のない性能を提供します。高精度な膜厚測定が可能な高精度光学装置を採用し、高耐久性を実現しています。AMAT Endura CLはまた、ユーザーがプロセスパラメータとチャンバー条件を監視できるように、幅広い監視機能を提供します。アプライドマテリアルズEndura CLは、高品質で信頼性の高い半導体デバイス製造プロセスを可能にする高度なPECVDマシンです。そのユニークなデュアル炉の設計と堅牢なシャワーヘッドツールは、比類のない汎用性と高度なプロセス制御を提供します。その洗練された光学アセットは、正確な膜厚測定と均一性を容易にします。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと監視機能により、最も要求の厳しいデバイス製造アプリケーションに最適です。
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