中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9170919 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL Reactorは、半導体ウェーハ加工およびその他の薄膜加工用途向けに設計された急速熱処理（RTP）装置です。様々な素材のフィルムを様々な基板に貼り付けることができる化学蒸着システムです。このチャンバーは、基板全体に均一な温度分布を提供し、熱エネルギー伝達を正確に制御するために設計されています。このユニットは、自動基板処理、プロセス時間とガス使用量を変化させる低圧バルブ、および正確な温度制御のための統合されたピロメーターを備えています。AMAT Endura CLリアクターには、石英管、石英反射器、石英窓、シリコンヒーターの4つの標準要素が装備されています。水晶チューブはプロセスガスを収容し、堆積中に基板に均一なガス分布を保証します。水晶反射器は基質およびチャンバー壁の残りの部分に発生する熱エネルギーを反射し、均質化するために作動します。石英の窓は透明なシールとして機能し、チャンバーの外からプロセスを見ることができます。シリコンヒーターはプロセスのための熱制御を提供し、効率的な熱伝達のために反応室から熱的に隔離されます。機械はキロボルトの範囲で作動するように設計され、1150°Cの最高温度があります。また、高性能マルチゾーン制御ツールを内蔵しており、チャンバー内の正確な温度制御と均一な温度分布を可能にします。このアセットは、圧力と温度、およびプロセスガスの流量を制御することができます。応用材料Endura CLリアクターは、再現性、信頼性、再現性の高い蒸着プロセス用に設計されています。多様な半導体デバイス用途に使用される酸化物、金属、半導体材料など、さまざまな基板に幅広い材料を堆積することができます。このモデルは、幅広いガスで動作するための幅広いプロセスウィンドウを備えており、さまざまな半導体やその他の薄膜開発プロセスに最適な装置です。