中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293807107 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、薄膜の蒸着に使用される化学蒸着（CVD）炉です。シリンダー状のプラズマ膨張帯を使用しています。原子炉は、精密な層制御とより良い堆積均一性を可能にする様々な機能を備えています。それは2つの埋め込まれた源、水晶棒および埋め込まれた水冷が付いている暖房装置を特色にします。これにより、正確な温度範囲を維持し、堆積プロセスをより大きな制御することができます。その柔軟性は、温度、圧力、ガスの流れなど、異なるフィルムのさまざまなプロセス条件を容易にします。AMAT Endura CLは、広いダイナミックレンジで高品質のフィルムを製造することも可能です。反応室には水晶ドームと2つの電極があり、原子炉の両側に配置されている。電極は、プラズマ場を生成するために使用され、前駆体ガス分子を分解し、均一な堆積を形成するのに役立ちます。応用材料Endura CLには、プロセスガス分布を制御することでフィルムの均一性を向上させるためのガス分配器とアノードも装備されています。さらに、プロセス制御ユニット（PCU）は、正確な圧力レベル、ガス流量、電源設定など、蒸着プロセスを正確に制御します。Endura CLは、再現性、制御性、安定した蒸着プロセスを確実かつ効率的に実現するよう設計されています。半導体エッチング、光学コーティング、微細加工など幅広い用途に適しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLの汎用性の高い成膜は、ファインラインフィルムの精密な成膜に最適です。AMATの生産ラインへのシームレスな統合により、AMAT Endura CLは優れた柔軟性と最大の価値を提供します。