中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293757992 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL反応イオンエッチャー（RIE）は、高度なウェーハ処理を可能にする高性能ツールです。精密で反復可能なエッチングプロセスを必要とするアプリケーションに最適なツールです。AMAT Endura CLは、シリコン、ゲルマニウム、ヒ素ガリウムなどの幅広い材料を処理することができ、さまざまなエッチング速度と深さに対応することができます。この装置は、ガスとプラズマの組み合わせを使用して、正確で実績のあるエッチングプロセスを提供します。このシステムは、複数のプロセスガスと混和の制御を通じて、均一性、再現性、精度を備えた幅広い材料をエッチングすることができます。アプライドマテリアルズEndura CLは、ウエハ表面への電荷蓄積の影響を最小限に抑える超高真空チャンバーに収容された高性能の電子サイクロトロン共鳴（ECR）プラズマを搭載しています。このユニットはまた、改善された真空制御マシンを使用しており、ツールは最大の性能のために所望のプロセス条件を達成し、維持することができます。Endura CLも多くの安全機能を備えて設計されています。この資産には、危険な水素フッ化物やその他の種のレベルを継続的に検出するin-situハザードモニターが装備されており、危険なレベルに達したときにモデルをシャットダウンするようにプログラムすることができます。また、いくつかのシャッターシステムを備えており、エッチャーの特定の部分への通過を可能にし、無効にします。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、定期メンテナンスに伴うダウンタイムを削減するために設計された交換可能なコンポーネントも備えています。コンポーネントは、システム構成部品を分解して組み立てる必要がなく、迅速かつ簡単に変更でき、従来のシステムに比べて時間とコストの両方を節約できます。AMAT Endura CLは、迅速なエッチングモジュール交換とフレキシブルチャンバーを可能にし、プロセスを中断することなく、ウェーハサイズとプロセスアプリケーションを切り替えることができます。アプライドマテリアルズEndura CL反応イオンエッチャー（RIE）は、高度なウェーハエッチング処理のための強力で信頼性の高いツールです。多種多様な材料を処理し、複数のガスを使用し、強化された安全機能を実装する機能により、ユーザーは効率と精度を向上させ、繰り返し可能なエッチング速度と深さでウェーハを処理することができます。部品を素早く簡単に変更できるため、メンテナンスに伴うダウンタイムとコストを削減できます。一方、フレキシブルチャンバーにより、ウェーハサイズとプロセスアプリケーションを素早く切り替えることができます。