中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293752937 を販売中
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ID: 293752937
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
System, 12"
Chamber E/F: STD Degas
Chamber D: PC-XT
Chamber 1: IMP
Chamber 2/3: TxZ
(2) Scanners
Generator rack
Distribution rack
AC Rack
Monitor missing
Front monitor
Flex controller: VME Type
(2) PODs
Light curtain: FABS Type(JAPAN)
Signal tower: 3 Colors
Aligner type: Single axis stand alone
Passthrough: Dummy 12-Slot
Missing parts:
KENSINGTON Robot
Robot controller 1/2
FI HDD/FDD
CD ROM
FI CPU Board
(2) Degas Chambers (E/F)
Chamber type: STD Heater Type
Cryo pump missing
Chambers A&B:
Chamber A: Passthrough
Chamber B: Cooldown
Lid type: Clear Lid
Buffer and transfer:
Robot type: VHP Robot
(12) Slit V/V Assemblies
(12) Slit V/V Doors
Missing parts:
Cryo Pump
SBC452 Board
P-III CPU Board
Buffer Interlock Board
FE HDD
RT HDD
FE/RT FDD
VHP Robot cover
Chamber 1:
Process type: Vectra IMP
IMP Adaptor
Weldment type: STD
Controller tower type: CL STD Type
Lid hoist type: Gas spring type
Heater type: B101
Gate V/V type: 3 Position
Shitter option: CL STD Type
Missing parts:
Coil match
Bias match
Cryo pump
Coil matching box: 2 MHz
Bias matching box
Shutter driver
Wafer lift driver
Bias pedestal RF power cable
Ion/Convectron gauge controller
Pedestal driver
Chamber 2:
Process Type: TxZ
Gas box type: TFTE DLI Type
Gas delivery & exhaust: TFTE Type
TurboVac 361C Pump
Heater type: TxZ STD
Turbo isolation valve: Angle valve
Baratron gauge: 2T/1000Torr
MFC: (5) STEC
Missing parts:
Throttle valve
MFC and valve for purge module
Chamber feedthrough
DI/O Board
TDMAT Bottle
Purge module bracket
Lid CVGGF
Chamber 3:
Process Type: TxZ
Gas box type: TFTE DLI Type
Gas delivery & exhaust: TFTE Type
TurboVac 361C Pump
Purge module: BOT/EDGE/BS
Baratron gauge 2T/1000Torr
MFC: (5) STEC
Missing parts:
Throttle valve
MFC and valve for purge module
Chamber feedthrough
TxZ Heater & Lift pin
Purge module bracket
Chamber D:
Process Type: PC-XT
Resonator type: Fan resonator
Controller tower type: CL STD Type
TurboVac 1000C Pump
Gate V/V Type: 2Pos
Bias match option: 13.56 MHz
MFC: (2) STEC
Missing parts:
Analog board
Bias matching box
Pedestal RF Power
Pedestal lift assembly
Lift/Pedestal driver
RGA Manual valve
PC-XT Pedestal
DI Max Cooler: DI Max
Chiller: Steelhead 1
Compressor missing
Racks:
Distribution rack
(2) Generator racks
AC Rack
Accessories:
TDMAT auto re-fill gas cabinet
Abatement device 1/2
UPS
Umbilical cable
Pump frame
System earthquake prevention belt brackets
INFICON RGA Accessories
AC Rack DI/O board missing
IMP CDX-1250 Bias generator missing
Power supply:
Chamber 1:
Dual Pinnacle 10 kW+6 kW
HFV-8000 5 kW
Chamber 2, 3:
COMDEL CLX-2500
Chamber D:
ENI GMW-25A 2 MHz
ENI GHW-12A 123.56 MHz
Missing pumps:
SWLL
Degas
RPC
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、拡散システムの高性能ウェーハ処理炉です。半導体ウェーハの表面から材料の薄層を堆積、エッチング、剥離するために使用されます。その化学機械研磨（CMP）機能は、ナノスケールのレベルでも特徴と表面の均一な平面化を可能にします。AMAT Endura CLリアクターは、Chroma 1400ウェーハフィーダとSpeedTec EBR-2000電源が標準装備されています。また、120kVのE-gun、自動ガスハンドリング・インジェクション装置、リアルタイム温度測定・管理システムを備えており、ウェーハ処理時の精度と再現性を実現しています。さらに、このユニットにはフォルト・トレランス・プログラムが内蔵されており、リアルタイムで処理エラーを予測し、修正するのに役立ちます。アプライドマテリアルズEndura CLリアクターは、メタライゼーション用途に特化して設計されており、その高性能な蒸着機能により、1時間あたり最大50ウェーハを処理できます。この原子炉は、超高真空（UHV）チャンバーを備えたトリプル真空環境を備えており、宇宙放射、誘導電流、および粒子汚染を排除します。このタイトな真空環境により、反応条件の制御が容易になり、正確に操作され、一貫したフィルムの外観と均一性が得られます。Endura CLリアクターのコンパクト設計により、クリーンルーム環境に簡単に収まることができます。低メンテナンスの触媒化学蒸着（CVD）プロセスにより、絶縁膜と金属膜を高速かつ再現性の高い方法で均一に蒸着することができます。また、リアクターはさまざまなプロセス固有の構成を備えており、さまざまなウェーハ処理アプリケーションを可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLリアクターは、AMATの模範的なカスタマーサービスとメンテナンスプログラムに裏付けられています。この高性能な半導体装置は、ウェーハ表面から材料の薄い層を堆積、エッチング、ストリップするために不可欠なツールです。その高度な機能は、ナノスケールのレベルでもフィーチャーとサーフェスの均一な平面化を可能にします。
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