中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293752793 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL
リアクター
製造業者
AMAT / APPLIED MATERIALS
モデル
Endura CL
ID: 293752793
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
PVD Metal system, 12" AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-08815 622000096-1 Endura CVCF AMAT / APPLIED MATERIALS 0015-04420 DI Chiller EFEM: (3) AMAT / APPLIED MATERIALS 85-3000-0307-01 Load ports YASKAWA XU-RCM6801 G28001-1-14 Handler robot YASKAWA XU-CN1112A S2M988-5-02 Robot controller YASKAWA XU-ACL4203 S13537-3-01 Ball screw TERA TVC-1R-01 AB11110361 Remote controller AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-05111 Control video switch (3) MAXON 143849 DC Servo motors (3) KG AUTO KGP-JD2G LED Lamps MOELLER PKZM0-25 Thermal magnetic circuit breaker TM: AMAT / APPLIED MATERIALS DDM-005X-DN-AM3 9101-1999 Electrocraft servo drive AMAT / APPLIED MATERIALS 404419R Enhanced HT Wrist AMAT / APPLIED MATERIALS 404557R 0010-31156 Enhanced HT Wrist AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-50505-002 13118101-203 Slit valve housing AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-22609 119503 Slit valve AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-1041-01R KSM-060206 Slit valve GRANVILLE 354001 1559 Gauge controller CTI 8113212G001 F0908552 On-board P300 Module CTI 8113212G001 H1009443 On-board P300 Module MDC AV-153-P 01-53564 Pneumatic angle valve PANASONIC FX-300 Series Digital fiber optic sensor NSK M-JSG014DN504 GJ6Y062 Mega torque motor AMAT / APPLIED MATERIALS XBR-2310 AC Servo motor Chamber 1: CTI PG03.00 L05407998 On-board P300 Cryopump CTI 8113212G001 B0908336 On-board P300 Module AMAT / APPLIED MATERIALS CDS-099 400822-PJ-LCMD Lower chamber module AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09628 1096800 SPELLMAN X2784 41254-1-A01063 Power supply AMAT / APPLIED MATERIALS 18902-13 400822-PJ-CCMD Controller Chamber 2: CTI 8116250G001 F03151808 On-board P300 Cryopump CTI 8113212G001 E0807402 On-board P300 Module 8127303G001 Drive unit assembly P300 MDC AV-150M-P03 02-55365 Pneumatic angle valve MKS Baratron 627A1TBD 821109 Pressure transducer AMAT / APPLIED MATERIALS 0021-21164 11362101 Bracket, sensor, shutter Chamber 3: AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-14529 3420304 PVD Source chamber top AMAT / APPLIED MATERIALS MII-403-0606 404557-PJ-LCM1 300mm RPC Assembly MKS Baratron 627A 1TBD 001057274 Pressure transducer SMC 1082300 B11262002-29832 Valve supplier R.T.LAIRD INC 188123 1-800-231-7983 SVF 0010-13532 300637-3103-31030004 Flow control AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-00412 S03-36-19 Motor stepper assy AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-06374 11362101 Motor stepper assy MKS UHV-25-AKC-ENVN 0325476992 Angle valve CORCOM F7299 EMI filter Degas chamber (Chamber E): CTI 8116273G001 1010CHE10707 On-board P300 Cryopump CTI 8113212G001 C0908419 On-board P300 Module AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-21740 Assy TC amp 7018012 TC Gauge Degas chamber (CH-F): CTI 8116273G001 I05376835 On-board P300 Cryopump CTI 8113212G001 C0908416 On-board P300 Module AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-21740 Assy TC amp SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS NCDQ2WB63-UIA97 0110 Pneumatic cylinder SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS NCDQ2B80-UIA990939 3020-01052 Pneumatic cylinder SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS 944AOPLPNCSFSFF 42600719 Pneumatic cylinder SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS NCDQ2WB63-UIA97 939 Pneumatic cylinder SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-76520 300351-333-0023 Pneumatic cylinder lift assembly CTI 8112030G002 Roughing valve Diaphragm valve 8127082-G001 Purge valve Generator rack: ENI 0190-19810 DCG-400Z-0J Master DC Power supply ENI 0190-07969 DCG-200Z-S0J Slave DC Power supply ENI 0190-09832 GHW12Z-13DF2N0-001 RF Generator CVCF: Eaton MDL3800F 4203B99G03 Circuit breaker AMAT / APPLIED MATERIALS 400822-PJ-PROJ 0190-06075 Load center 2002 vintage.
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、様々な化合物半導体（CS）膜およびデバイス層に優れた性能を提供するように設計された最先端の金属有機化学蒸着（MOCVD）炉です。AMAT Endura CL装置は、利用可能な最先端のMOCVD原子炉であり、利用可能な最高品質の化合物半導体フィルム蒸着を提供します。APPLIED MATERIALTS エンデュラCLシステムは、ウェーハ表面全体にわたる精密な層ごとの厚さ制御と蒸着品質の均一性を備え、均一な膜厚を最大限に引き出すように設計されています。この原子炉は、ターボ混合、低流量、低圧前駆体の配送など、高度な流量特性により、前駆体の流量を優れた制御を可能にするように設計されています。また、高スループット生産のための高い発電能力と、所望の材料特性を達成するためにプロセス条件を迅速に調整する能力を備えています。Endura CLリアクターは、すべてのウェーハに均一な前駆体の分布を保証する垂直蒸着チャンバー設計を採用し、蒸着中に垂直脱出経路を確保し、すべての反応副生成物の排除を促進します。この高度な設計は、最高のローカル品質を維持しながら、材料の効率的な堆積を可能にします。また、加熱されたサセプターを備えており、均一なウェーハ温度を促進し、温度変化による材料抵抗の増加を低減します。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLリアクターには、均一な蒸着速度、温度制御、およびプロセス制御機能が組み合わされています。AMAT Endura CLは、プロセスパラメータのプログラミングと最適化のためのユーザーフレンドリーなインターフェースを提供する数値制御アクチュエーションユニットを備えています。高度な電気化学センサマシンは、最高品質の結果を保証するために、プロセス条件の一定の監視を可能にするために使用されます。さらに、アプライドマテリアルズのEndura CLリアクターは、高圧電源を使用して電気サブシステムに電力を供給し、消費電力とコストを削減します。Endura CLは、複合半導体フィルムやデバイス層に最高品質の成膜を提供するために設計された先進的なMOCVD炉です。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLリアクターは、高度な設計、レイヤー単位の厚さ制御、および高い発電能力により、成膜用途において優れた均一なフィルム特性とプロセス制御を求める人々に最適なツールです。
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