中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293719859 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、半導体やその他の電子機器の製造に使用される高性能エッチングプラズマ炉です。AMAT Endura CLは、従来のエッチングプラズマ炉と比較して、より高いプロセス柔軟性と優れたスループットを提供するように設計されています。アプライドマテリアルズEndura CLは、ウェーハ材料の溶解率を高め、エッチング時間を短縮する2つの高出力プラズマ発生段を備えています。Endura CLは最大15mTorrの圧力で動作するため、幅広いプロセスを実行できます。さらに、原子炉は完全に自動化されており、ユーザーは制御室からウェーハの温度、圧力、プラズマパラメータを制御することができます。原子炉は、特別な2段のCUSPプラズマ源を使用して構築されています。この設計は、エッチング性能の重要な要素である低圧での安定した均一なプラズマ流量を確保するのに役立ちます。この2段階のソースは、化学物質の排出とガス使用量の削減にも役立ち、コストの削減とクリーンな作業環境の維持にも役立ちます。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CLは、最大193 cm2の処理可能面積で複数のウェーハを同時に処理できます。また、10 x 10mmから8 x 8まで、さまざまなウエハサイズを扱うことができます。この機能により、ユーザーはスループットを最適化し、効率を高めることができます。AMAT Endura CLはまた、ユーザーがリアルタイムでエッチング処理を監視できる高度な自動ロボットシステムを備えています。このシステムは、一連のセンサーとカメラを使用して、エッチング速度、安全性、品質を測定します。また、プロセス中の問題を検出し、ウェーハへのさらなる損傷を防ぐためにユーザーに速やかに警告することもできます。全体として、アプライドマテリアルズEndura CLは、優れた性能とスループットを提供できる強力で信頼性の高いエッチングプラズマ炉です。また、ユーザーの介入を最小限に抑える完全に自動化されたシステムで、使いやすいように設計されています。これにより、Endura CLは研究室や生産業務に適しています。
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