中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9373104 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、高度な薄膜処理に使用される高性能、低コスト、ハイエンドのインライン物理蒸着（PVD）原子炉です。主に銅、アルミニウム、チタン、タングステンなどの金属層を堆積させるために使用され、他のさまざまな非金属フィルムを堆積させるためにも使用できます。AKT Endura 5500は、半導体、ディスプレイ、ソーラー、LED製造などの幅広い用途に適したさまざまな機能を提供します。薄膜蒸着のための信頼性の高い完全自動化されたインライン装置であり、プロセス領域全体の均一な温度と圧力制御により、プロセスの均一性が向上します。これにより、バッチ全体で均一で一貫した膜厚が保証されます。AMAT ENDURA 5500の高度なプロセス制御により、手動プロセスを自動化し、高品質で高度なフィルムを製造するために必要な時間と労力を削減できます。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、ウェーハ間サイクル時間を最適化することにより、所有コストを低減し、最大のスループットを提供します。ENDURA 5500は、静止したホットウォール設計により、最高の均一性、安定性、長寿命を実現します。ジャケットシステムは、蒸着中に蒸気やその他の汚染物質がプロセス領域に侵入するリスクを最小限に抑えます。APPLIED MATERIALTS Endura 5500は、ソースとシールド圧力を常に監視してプロセスの再現性と均一性を確保するオンボードのソースとシールドモニターも提供しています。また、高速デジタルイオンビームガンを内蔵しているため、素材を素早く正確に蒸着することができ、極端な薄膜蒸着が可能です。Endura 5500にはプロセスコントローラとプロセスモニタが統合されており、ユニット操作中の制御、診断、データ分析を簡素化できます。AKT ENDURA 5500には、必要に応じて素早くソースを交換できる自動ソース交換機が搭載されており、メンテナンスや修理が容易に行えるように設計されています。アプライドマテリアルズENDURA 5500は、基板上に幅広い薄膜層を提供するために特別に設計された、高性能で費用対効果の高い、シンプルで信頼性の高いPVD出力炉デバイスです。優れたパフォーマンスと低所有コストを提供します。