中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9352786 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500リアクターは、大量生産アプリケーションにおける迅速で均一で再現可能なプロセス用に設計されたマルチチャンバー成膜およびエッチング装置です。このシステムは、既存および将来の材料との互換性と柔軟性のために設計された独自のモジュラープロセスチャンバーを備えています。また、均一性とプロセス制御が向上したエッチングおよび成膜ソリューションの範囲を提供します。AKT Endura 5500リアクターは、独自に設計されたデュアルチャンバードライエッチユニットで、最初のチャンバーは蒸着様式および低エネルギー反応イオンエッチング（RIE）処理を提供し、2番目のチャンバーはエッチングと蒸着をより高いエッチング速度で提供します。この機械はポリシリコン、SiNx、 a-Si： H、 AlN、およびAlGaAsを含むいろいろな異なった材料と互換性があります。LEDディスプレイ、MEMS、ナノテクノロジー、マイクロ流体、半導体など、さまざまな用途に適しています。AMAT ENDURA 5500リアクターは、急速なランプアップや優れた温度均一性など、いくつかの有利な機能を提供します。マルチチャンバーアーキテクチャと高度なプロセス制御メカニズムにより、プロセスの精度と再現性が向上します。このツールは、高度なツールセットを使用してウェーハレベルの条件をリアルタイムで直接フィードバックする高度な監視機能も提供します。Adaptive Process ControlおよびProcess Variance Controlテクノロジーにより、プロセス制御とウェーハの均一性が大幅に向上します。さらに、AMAT Endura 5500は材料損失を最小限に抑え、エッチングの均一性を最大化するプロセスチャンバーのエッチレシピを最適化することができます。Endura 5500リアクターは、優れたエッチングと蒸着性能、強化された均一性、およびプロセスパラメータに対する制御性を提供するために設計された、費用対効果の高いユーザーフレンドリーな資産です。APPLIED MATERIALS Endura 5500は、高度な監視および制御機能、異なる材料との互換性、大容量の機能を備え、多種多様なアプリケーションや業界向けに包括的なソリューションを提供します。