中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9283205 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は半導体製造用に設計された汎用性の高い原子炉です。この装置は、シリコン、アルミニウム、銅、窒化物、サファイアなどの幅広い基板を処理するように設計されています。このシステムは、低温急速熱処理、急速な熱結晶化、および最大400°C/秒の温度上昇/下降速度を実現することができます。AKT Endura 5500は、バッチまたは連続基板処理を可能にする画期的なデュアルチャンバー設計を備えています。より低い部屋、プロセス部屋は1200°Cまで温度が、可能です。上部チャンバーはクォーツチューブ成形チャンバーとして機能し、6インチまでのさまざまな基板に対応できます。10本の独立したガスラインを持つ高度なガスコントロールマシンを搭載し、ガス流量を精度よく設定できます。AMAT ENDURA 5500の最大積載能力は、最大8個の4インチウェーハまたは最大2個の8インチウェーハです。このツールは、DCとRFの両方の電源だけでなく、シータやEビームなどの暖房オプションの範囲を持っています。アセットには冷却モデルが統合されており、基板の安全な動作と均一な冷却を保証します。AMAT Endura 5500は、安全アラームやメカニカルウェハブレイクディスプレータなどの高度な安全機能を備えています。このシステムは、安全性のためのSEMI規格に準拠しており、クリーンルーム環境での動作に設定することができます。このユニットには、ドキュメントとソフトウェアの完全な補完が付属しており、ユーザーはマシンを構成し、プロセスパラメータを監視することができます。結論として、ENDURA 5500は、幅広い基板処理能力を提供する汎用性と信頼性の高いツールです。統合された安全機能、高度なガス制御および精密加熱オプションにより、幅広い要件に最適です。このモデルは、クリーンルームでの使用に適しており、SEMI規格に準拠しています。