中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9266439 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500
販売された
ID: 9266439
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Sputtering system, 8" (4) Chambers 2001 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reactorは、半導体基板のナノスケール構造とパターンの形成のために設計された先進的で生産価値のある電子ビームリソグラフィープラットフォームです。AKT Endura 5500は、幅広い高度なパッケージングおよび微細加工アプリケーション向けに、電子ビームリソグラフィの性能上の利点を発揮します。この装置は、5500ミクロン相当のピクセルサイズで、1秒間に最大5,500ラインのライン速度で設計されており、高解像度のナノスケールパターニング機能を可能にします。このシステムはまた、エンデュラに取り付けられたソースとステージから誘起される磁場に関連する画像の歪みを効果的に排除する高度な磁場補償技術の恩恵を受けています。AMAT ENDURA 5500はナノフォトニクスの特徴の印刷、導波路製造、統合された走査型電子顕微鏡(SEM)のイメージ投射およびフラットパネルの曲がることに使用することができます。ENDURA 5500はまた、堅牢なユニット設計と組み合わされた高精度の電気および機械的性能を提供します。直径24インチまでの多種多様な基板に対応可能です。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、サンプルプリプロセッサとポストプロセッサを自動化し、均一なパターンを確保しながら処理時間を大幅に短縮することができます。このツールは定常状態の資産制御で動作し、基板の動きに合わせて焦点ビームとオンザフライ調整を正確に制御します。さらに、APPLIED MATERIALS ENDURA 5500は、単純化されたジオメトリと、定義済みの複雑なジオメトリを単一の基板上に統合する制御パターン統合モデルも提供します。この装置は、これまでにないプロセス制御とデバイス製造の柔軟性を提供します。Endura 5500は高速電子ビームパターニングの高速スキャンも可能です。最後に、ユーザーフレンドリーな設計により、このシステムを既存のインフラストラクチャに簡単に統合することができ、新製品の市場投入までの時間を短縮することができます。結論として、AMAT/AMAT Endura 5500 Reactorは、最先端のナノスケールパターニング機能を提供する強力で生産可能な電子ビームリソグラフィープラットフォームです。このユニットは、高度なプロセス制御、高速スキャンおよびパターン統合を提供し、統合スキャン電子顕微鏡イメージングのために最適化されています。AKT ENDURA 5500は複雑な製造要件向けに設計されており、幅広い高度なパッケージングおよび微細加工アプリケーションに最適です。
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