中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9257279 を販売中
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販売された
ID: 9257279
ヴィンテージ: 1993
PVD System
Chambers:
(4) PVD chambers (2 TiN and 2 Al)
(2) Degas chambers
(1) Preclean chamber
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001
MKS Type 627 Pressure Transducer
MKS Type 627 Pressure Transducer
MKS Type 627 Pressure Transducer
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001
CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS Valve 8112095
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control
MKS Type 627 Pressure transducer
Endura Wafer lift assembly 101 Rev. 003 0010-70271
8" Preclean II RF Match 0010-20524 (Label PN 0060-21140)
Endura Wafer lift assembly preclean 2 Rev. 003, 21902-08
MKS Type 627 Pressure transducer
0010-20277
8" Degas Lamp 350C 0010-20317
8" Degas Lamp 350C 0010-20317
CTI-CRYOGENICS On-Board Module 8113100G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
Gas Box #1 0010-20217 Rev. B
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001
Loadlock A (11)
Loadlock B (0620-01049)
Operator Control Panel BD Assy. 0100-20032 Rev. D
ViewSonic E55 Monitor VCDTS21914-2M
Standalone VGA Monitor Base 0010-70386 Rev. A
Gas Box #2 0010-20218 Rev. B
Gen Rack #1
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
ADVANCED ENERGY MDX-L12-650
ADVANCED ENERGY MDX-L12M-650
Gen Rack #2
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
Gen Rack #3
ADVANCED ENERGY LF10A
COMDEL RF Power Source CPS-1001S
GRANVILLE-PHILLIPS Ionization gauge supply 332102
15V PS Assembly
24V PS Assembly
CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001
CPRSR High Perf Model 9600 3620-01389 Rev. A
CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001
Thornton 200CR
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135917G001
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135909G001
NESLAB BOM # 327099991701
EBARA A30W
EBARA A70W
HARMONIC GEAR UGH50-28
VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG
VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG-A1
GEORG FISCHER V 82
Supply voltage: 480 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
Max system rating: 150 kW
Largest load ampere rating: 42 A
Interrupt current: 10,000 Amps IC
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、半導体産業で使用するために設計されたハイエンドの自動炉です。このシステムは、幅広いプロセスタスクを扱うことができる多目的な生産プラットフォームとして機能します。これには、蒸着、エッチング、酸化、水素化および化学蒸着（CVD）が含まれます。AKT Endura 5500のメインフレームは、統合されたクリーニングチャンバー、ガスモジュール、温度制御サンプルチャンバーで構成されています。クリーニングチャンバーは、他のプロセスが始まる前にチャンバー壁を不活性化するために使用されます。ガスモジュールは、ヘリウム、窒素、アルゴン、酸素の均一な供給を提供します。サンプルキャリアの温度は、30°Cから400°Cまでの正確な温度に調整することができます。全体的に、AMAT ENDURA 5500は、1台のマシンから精度、再現性、信頼性を兼ね備えた先進的なユニットです。TPA （Total Process Automation）により、オペレータは単一のソリューションで複雑なプロセスを監視、制御、文書化できます。これは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と独自のPID制御ツールを介して行われます。アセットのプロセスコントローラは、リアルタイムのプロセスモニタリング、レシピ管理、統合データロギングなど、多くのプロセス制御機能を提供します。さらに、このモデルには、数式の最適化と新しいプロセスの開発を可能にするプロセスオートメーション機能が搭載されています。ENDURA 5500は、最高品質の結果を出すために必要な高い再現性を備えています。部屋の壁は汚染に対してより抵抗力があるようにされました従って同じ結果は1つの会議から次に達成することができます。Endura 5500は、半導体の生産に最適化された信頼性の高いハイエンド原子炉装置です。自動化されたプロセス、プロセス制御機能、データロギングシステムは、ミッションクリティカルな産業ニーズに最適です。再現性、信頼性、プロセス最適化を兼ね備えたアプライドマテリアルズENDURA 5500は、その分野における真の宝石です。
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