中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9241831 を販売中
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販売された
ID: 9241831
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2000
System, 6"
Load lock chamber:
LLC Type: Narrow body
Indexer without rotation
Wafer mapping
CH Vent: Slow / Fast vent
No wafer slide out detector
Buffer chamber:
Robot unit: HP
Blade type: Metal
Upper & lower motor
(2) Gate valves
Cryo pump: 3 Phase
(7) Wafer sensors
Transfer chamber:
Robot unit: HP
Blade type: Metal
Upper & lower motor
(2) Gate valves
Cryo pump: 3 Phase
(6) Wafer sensors
Chamber A: Pass through
Chamber B: Cool down
Chamber A / B:
Lid type: Clear plastic
Wafer lift
Wafer lift hoop
No TC monitor
Chamber E / F: Oreintor degas
Degas lamp module
Wafer lift
Wafer lift hoop
Wafer chuck
Orientor controller PCB
Laser tub missing
Laser CCD array PCB
No TC
No TC amp
Chamber 1: PVD Wide body
Source assy: 11.3"
Source bracket kit
Coh ti adaptor plate
Wafer lift: Clamp
Heater: Clamp
Heater water box: Clamp
Manometer: MKS 100 mT
Ar Backside
(2) Gate valves
Ion gauge
Shutter option
Cryo pump: 3 Phase
Heater type: Clamp
Chamber harness
Chamber inter-connect PCB
Chamber process gas line
Chamber vent line
Chamber source water manifold
Chamber pneumatic 1/8 poly line set
Chamber 2: PVD Wide body
Source assy, 11.3"
Source bracket kit
Adaptor plate: WB to STD 13"
Wafer lift: Clamp
Heater: Clamp
Heater water box: Clamp
Manometer: MKS 100 mT
Ar Backside
(2) Gate valves
Ion gauge
Shutter option
Cryo pump: 3 Phase
Heater type: Clamp
Chamber harness
Chamber inter-connect PCB
Chamber process gas line
Chamber vent line
Chamber source water manifold
Chamber pneumatic: 1/8 Poly line set
Chamber 3 / 4: PVD Wide body
Source assy: 11.3"
Source bracket kit
Adaptor plate: WB to STD 13"
Wafer lift: Clamp
Heater: Clamp
Heater water box: Clamp
Manometer: MKS 100 mT
Convectron gauge
Ar Backside
(3) Gate valves: PVD
Ion gauge
Shutter option
Cryo pump: 3 Phase
Heater type
Chamber harness
Chamber inter-connect PCB
Chamber process gas line
Chamber vent line
Chamber source water manifold
Chamber pneumatic: 1/8 Poly line set
Chamber C: PCII Etch
Resonator
Pedestal lift
MKS Manometer
Convectron gauge
Ion gauge
Turbo pump
Wafer lift
RF Match
No process kit
Chamber 1,2,3,4 & C:
Gas panel assy
MFC: (STEC 4400)
MFC Down steam valve
Manual shut off valve
MFC Control cable
MFC Inter-connect PCB
Sub-module:
Cryo compressor: CTI 9600 & 8500
(2) Cryo controllers: 3 Phase
Chiller: NESLAB III
Vacuum pump
System pump: BOC EDWARDS QDP40
PCII Pump: BOC EDWARDS QDP40 + MB250
System rack: VEM
SBC
Video
SEI
(12) DIO
AI
(2) AO
(3) Opto PCB
(2) AI Mux
Cryo temp /AI MUX
(4) Steppers PCB
TC Gauge PCB
(2) Ion gauge PCB
(4) Invertron gauge PCB
OMS PCB
Hard disk
FD Disk
(4) 2-Phase HTR lift drivers
(6) 5-Phase robot drives
RF Rack:
RF/DC Rack
Turbo controller
(5) ISO AMP
(4) DC/RF Generator interlocks PCB
DC Power supply
DC Generator: Model ADVANCE ENERGY MDX-L series
RF Generator CPS 1001
RF Generator RFPPLF10A
AC Rack type: 480 VAC, 3 Phase, 4+1 Wire with transformer
DC Power supply: +5 VDC / +24 VDC
DC Power supply: +/-15 VDC / +/-12 VDC
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、半導体加工およびツーリングアプリケーションで使用するために必要なガスエッチングリアクターです。不活性または反応性ガスの組み合わせと最適化された基板-アンテナ設計を使用して、エッチング用途に最適な均一性と信頼性を提供するように設計されています。AKT Endura 5500は、下部チャンバーと上部チャンバーの両方を備えたデュアル基板対応リアクタを備えています。下位チャンバは高速エッチングおよび蒸着プロセスに最適化されていますが、上部チャンバはより正確な制御を必要とするエッチングおよび蒸着プロセスのためのより大きなプロセスウィンドウを提供します。AMAT ENDURA 5500は、低騒音、低消費電力、積極的に冷却されたプラズマを搭載し、幅広いエッチングおよび成膜プロセスにおいて信頼性の高い動作を可能にします。内蔵の動的圧力制御により、RF電力の調整が可能で、最適なプロセスの均一性と信頼性を維持できます。アプライドマテリアルズEndura 5500は、超音波周波変換技術を使用して、基板の均一な加熱、ポリマーやその他の有機材料の均一なエッチングを保証します。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500リアクターのブロードバンド機能により、ツールのスループットと使用率を最大化しながら、パフォーマンスを最適化することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、光放射分光法、熱画像法、光学顕微鏡分析などの高度なプロセス監視システムも備えています。AKT ENDURA 5500を使用すると、重要なプロセスパラメータをリアルタイムで監視し、必要に応じて調整することができ、プロセス制御と最適化を向上できます。このシステムは使いやすく、高精度であり、すべての主要なプロセスパラメータを直接制御および監視するための幅広いプログラム可能性を提供します。安全で信頼性の高い操作のために、AMAT Endura 5500には、オペレータや機器を予期しない危険から保護するために、安全インターロックと保護ハードウェアを備えた安全システムが内蔵されています。これには、さまざまな動作および熱制御システムが含まれており、ユーザーは特定のニーズに合わせてそれを構成することができます。Endura 5500はまた、最上位の形状に保たれ、最適なエッチングおよび成膜作業の準備ができるように自動化されたメンテナンスシステムを提供しています。
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