中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9240239 を販売中
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販売された
ID: 9240239
Sputtering system
LLC: Wide
V452
Robot: Buffer HP and transfer HP
(2) AL Chambers
(2) TTN Chambers
PCII Chamber
(2) Orient DEGAS chambers
Cryo pump: 3-Phase enhanced
(2) CTI 9600 Compressors
NESLAB Chiller.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、優れた性能と高い信頼性のために設計および製造された次世代半導体炉です。この原子炉には、最大200Wの発電が可能な第三世代温度コントローラが装備されています。AKTのEndura 5500の部屋はグラファイト繊維およびステンレス鋼からなされる革新的な構造と設計されています。この構造は、チャンバー内部の優れた絶縁性を提供し、より高速な処理速度とより効率的な動作を可能にします。AMAT ENDURA 5500リアクターは、ウェットエッチング、スパッタクリーニング、イオン注入、および蒸着アプリケーション用に設計されています。トランジスタ、メモリチップ、集積回路などの半導体デバイスにも適しています。この原子炉は、200 mmおよび300 mmのウェハサイズで動作するため、幅広い用途に適しています。APPLIED MATERIALS Endura 5500リアクターは、モジュラー設計のデジタルマイクロミラー装置(DMD)を備えており、柔軟性と拡張性を高めています。また、熱赤外線イメージング(TIR-I)機能を搭載し、表面温度を測定することができ、エッチング工程を最適化することができます。さらに、リアルタイムの大量制御システムを通じて、精密な化学物質やドーパントを精密に制御することができます。これにより、適切な量の材料がプロセスに供給されるため、歩留まりが向上し、生産時間が向上します。ENDURA 5500リアクターは信頼性が高く、偶発的な汚染やプロセスドリフトを防止する最新の安全機能を備えています。また、さまざまな安全プロトコルと互換性があり、SEMIなどの独立した安全機関によって認定されています。AKT ENDURA 5500リアクターは、さまざまなサイズと構成で利用でき、特定の生産要件に合わせて調整することができます。これにより、半導体製造事業の小規模化と大規模化の両立に理想的な選択肢となります。さらに、原子炉は広範なグローバルサービスネットワークに支えられ、いつでもどこでも専門家のサポートを提供します。
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