中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9228722 を販売中
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ID: 9228722
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2006
PVD Systems, 8"
Wafer shape: SNNF
Front panel type: Painted
Light tower: R / Y / G
Transfer chamber: VHP Robot
Wide body loadlock
(4) Chambers
Buffer robot: HP+ Metal blade
Transfer robot: VHP With metal blade
Chamber A: Pass through
Chamber B: Cool down
Chamber C: Pre clean
Chamber E & F: Orienter / Degas
Chamber 1: Standard body AL4 finger
Chamber 2: SIP TTN With bias ESC
Chamber 4: TN Durasource TTN A101
Transformer type: Variable / 150 kVA, 480 - 380 V
System power: Variable / 150 kVA
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、最新の半導体製造プロセスのニーズを満たすように設計された革新的な原子炉です。高品質の製造と堅牢なエンジニアリングと高度な材料と技術を組み合わせ、信頼性とプロセスの再現性を高めています。AKT Endura 5500は、豊富な機能と機能を備えたPCベースの制御機器を採用しており、柔軟で精密なプロセス制御が可能です。AMAT ENDURA 5500は、薄膜コーティング、成膜、エッチングプロセスのすべてのニーズを満たすように設計されています。このコンパクトなモジュラーシステムは、さまざまなプロセスに複数の材料と技術を受け入れて統合する能力を提供します。自動化されたチャンバー制御により、手動オペレータの調整要件を低減し、さまざまなプロセスに対応する柔軟性を提供します。直感的なグラフィカルユニットは、完全な操作制御のためにも利用できます。Endura 5500の標準的な機能には、4つのエッジ溶接フラットプレートライナーを備えた堅牢なベルジャーデザインが含まれ、効率的な作業環境を実現します。この原子炉には、調整可能なワンタッチリフト、自動チャンバーのローディングとアンロード、および完全に密閉されたダブルシャッターも含まれています。さらに安全のために、機械には自動真空漏れ検出ツールも装備されています。ENDURA 5500は、-20°C〜+300°Cの動作温度範囲と、-20°C〜+170°の基板温度を有しています。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、精密なプロセス制御のための強力でエネルギー効率的な周波数スイッチング直流（DCS S）電源を備えています。このアセットは、急速な熱処理から化学蒸着（CVD）、抵抗加熱、拡散など、さまざまな成膜およびエッチングプロセスを実行することもできます。AKT ENDURA 5500は、高度な機能と高品質の製造を備え、最新の半導体製造プロセスに最適です。それは高められた効率のための正確なプロセス制御と信頼でき、反復可能であるように設計されています。この原子炉は半導体産業の厳しい要件を満たしており、今日の最も要求の厳しいプロセスにおいて例外的なモデルを提供しています。
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