中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9228344 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、高生産性エッチングおよび成膜用に設計された先進的な加工半導体ツールです。この装置は、優れた再現性、高い均一性、およびクラス最高の生産性を提供します。このツールには2つの独立したチャンバがあり、同時にエッチングと蒸着プロセスを可能にするだけでなく、プラズマ源の遠隔操作も可能で、柔軟性が高まります。内蔵のプロセス監視ソフトウェアにより、オペレータは両方のチャンバーを同時に調整し、一貫性のある結果を保証します。AKT Endura 5500は、エッチングと堆積の複数の機能を1つの統合システムに統合する最先端のマルチコントローラーアーキテクチャを備えています。ETCH&DEPOSITION （E&D）排気チャンバーとプロセスチャンバーが共有され、高い収率と長いチャンバー寿命を保証します。このユニットはまた、エッチングおよび蒸着プロセス中の正確な温度を維持するのに役立つ温度制御機能を備えています。AMAT ENDURA 5500は、さまざまな用途に適した数多くの特長を備えています。AutoGas™自動ガス搬送機を搭載し、プロセス開発時の増分希釈制御と手作業の削減を実現しています。このツールはまた、ウェーハ粒子生成のリスクを最小限に抑えるために最適化された低圧ウェーハ転送を提供します。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500は、超高密度パワー蒸着機能を備えているため、精密な厚さと密度のある超薄い材料を作るための優れたツールです。この資産は、材料使用率の面でも非常に効率的であり、コスト削減の大きな利点です。応用材料Endura 5500はポリシリコン、酸化ケイ素、アルミニウムおよび銅のような材料を首尾よくエッチングし、沈殿させるのに使用されました。これにより、半導体生産の需要と信頼性の高いパフォーマンスに対する経済的なソリューションをユーザーに提供します。このツールの長期的な信頼性と問題解決能力は、生産指向の作業に最適です。