中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9221707 を販売中
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販売された
ID: 9221707
ヴィンテージ: 1993
PVD System
Chambers:
(4) PVD chambers (2 TiN and 2 Al)
(2) Degas chambers
(1) Preclean chamber
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001
MKS Type 627 Pressure Transducer
MKS Type 627 Pressure Transducer
MKS Type 627 Pressure Transducer
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001
CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS Valve 8112095
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control
MKS Type 627 Pressure Transducer
Endura Wafer Lift Assembly 101 Rev. 003 0010-70271
8" Preclean II RF Match 0010-20524 (Label PN 0060-21140)
Endura Wafer Lift Assembly Preclean 2 Rev. 003, 21902-08
MKS Type 627 Pressure Transducer
0010-20277
8" Degas Lamp 350C 0010-20317
8" Degas Lamp 350C 0010-20317
CTI-CRYOGENICS On-Board Module 8113100G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
Gas Box #1 0010-20217 Rev. B
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001
Loadlock A (11)
Loadlock B (0620-01049)
Operator Control Panel BD Assy. 0100-20032 Rev. D
ViewSonic E55 Monitor VCDTS21914-2M
Standalone VGA Monitor Base 0010-70386 Rev. A
Gas Box #2 0010-20218 Rev. B
Gen Rack #1
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
ADVANCED ENERGY MDX-L12-650
ADVANCED ENERGY MDX-L12M-650
Gen Rack #2
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
Gen Rack #3
ADVANCED ENERGY LF10A
COMDEL RF Power Source CPS-1001S
GRANVILLE-PHILLIPS Ionization Gauge Supply 332102
15V PS Assembly
24V PS Assembly
CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001
CPRSR High Perf Model 9600 3620-01389 Rev. A
CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001
Thornton 200CR
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135917G001
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135909G001
NESLAB BOM # 327099991701
EBARA A30W
EBARA A70W
HARMONIC GEAR UGH50-28
VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG
VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG-A1
GEORG FISCHER V 82
Supply voltage: 480 VAC, 3 phase, 50/60 Hz
Max system rating: 150 kW
Largest load ampere rating: 42 A
Interrupt current: 10,000 Amps IC
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は半導体製造業向けに設計された大面積プラズマ処理装置です。プラズマエッチングや成膜により、シリコンやサファイアなど様々なウエハの処理に使用できます。バリア層、酸化物層、薄膜スタックなど、幅広い用途に使用できます。AKT Endura 5500は、プロセスチャンバー、ガスキャビネット、プロセスコントロールモジュールを内蔵した、自立型の完全統合ユニットです。これにより、圧力、ガス、電源設定などの複数の機能を独立して制御できるため、プロセスを特定のアプリケーションに正確に調整することができます。また、このマシンには複数のシールド材料が含まれており、ツールの環境に存在する高電圧と温度からユーザーを保護します。このアセットは、プロセスチャンバーの温度、電力、ガスの流れを高精度に制御するように設計されています。パワーレベルは300Wから5000Wまでの範囲で、幅広いプロセス設定が可能です。チャンバー温度は1033 Cと1133Cの間で維持され、圧力は0。002 torrから760 torrの範囲です。さらに、チャンバーの流量は0。18リットル/分から15リットル/分までの範囲です。AMAT ENDURA 5500は、イオンおよび中性粒子質量分析計（IPMS）によるリアルタイムの現場解析も提供します。これにより、オペレータはプラズマ環境を監視し、プロセスを正確に制御することができます。さらに、このモデルには改良されたプロセス制御モジュールがあり、装置の診断とプロセスの最適化が強化されています。さらに、AKT ENDURA 5500は、故障検知システムやスピルオーバーを含む保護ガスエンベロープなどの安全機能を強化しています。これにより、人員の安全性とプロセスの完全性が保証されます。ENDURA 5500は、精密なプロセス制御と再現性を実現するために設計された効率的な熱処理ユニットです。高度な半導体デバイスの製造と統合に最適です。これは、シリコンウェーハのエッチングや成膜などのプロセスに、堅牢で費用対効果の高いソリューションを提供します。現場でのリアルタイム解析と設定範囲により、このマシンはさまざまなアプリケーションに最適です。
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