中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9217151 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、半導体製造プロセスにおける複雑な材料処理を処理するために設計された高性能リアクタです。5500は高度な装置であり、化学蒸着（CVD）、原子層蒸着（ALD）、遠隔プラズマエッチング（RPE）などの様々なプロセスを実行することができます。それは低圧、高い沈着率および優秀な均等性の各適用のための堅いプロセス制御を、提供します。5500は高い生産の歩留まりおよび最高の費用効率のために設計されています。それは直接陶磁器の暖房および活動的なピッチ制御を速い暖房時間および優秀なプロセス再現性を提供するのに使用します。また、基板への熱損傷を防ぐために反応室からの熱除去を最適化した高度な冷却システムを備えています。AKT Endura 5500は、インダクティブカップリングプラズマアプリケーション用のRFパワーユニットを内蔵しています。これにより、プラズマ電力の正確な制御が可能となり、低消費電力での高度なエッチング処理と低いダメージ堆積率が可能になります。5500には高度なハンドリングマシンが装備されており、基板の高速ロードとアンロード、サイクル時間の短縮、スループットの向上を可能にします。また、エッチング、堆積、埋め込みなどの包括的なアプリケーション機能も備えています。このツールには、アプリケーションごとにテンプレートが用意されており、オペレータの介入がほとんど必要ない安全で繰り返し可能な処理を提供します。AMAT ENDURA 5500は、強力で信頼性の高い半導体製造ツールで、歩留まりとコスト効率を向上させます。優れたプロセス再現性、プラズマパラメータの正確な制御、および幅広いアプリケーション機能を備えています。高度な機能と信頼性の高い性能を備えた5500は、半導体加工に最適です。