中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9208048 を販売中
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販売された
ID: 9208048
ヴィンテージ: 2002
PVD System, 8"
Single board computer in controller: V452
Copper barrier / Seed
Wafer handling: SNNF
Front panel type: Light pen
Loadlock vents: Variable speed
Buffer / Transfer robot: HP
Blade material: Thin metal
Chamber A: Bypass
Chamber B: Cool
Chamber E: Degas
Chamber F: Degas
Chamber C: Pre clean
Vacuum pump type: Turbo/dry
RF Match: PVD 200
Cable length: 50 Feet
Pedestal type: Cylinder
Power supply 1: CPS-1001S
Power supply 2: RFPP LF10A
Chamber 1 / 2:
Body style: WB
Source type: VECTRA IMP
Power supply: MXD-L12M 12KW
Heater: B101
Dual TC amp kit: No
Pedestal: B101
Target: D-Bond
Magnet: RH-2
Magnet shim thx: 0.75 mm
Gasline fittings: VCR
Loadlock fittings: VCR
Process MFC-1: 1 Ar 100
Process MFC-2: 1 Ar 100
Paste chamber: No
System roughing pump type: Dry
Chamber cryo pump type: CTI OB-8F, 3 phase
Heat exchangers: 1000
Cryo compressors: 9600 X2
Umbilicals:
Mainframe to controller: 75 Feet
Mainframe to generator racks: 75 Feet
Mainframe to cryo compressor: 75 Feet
Main AC to system controller/sys AC: 75 Feet
System AC to primary generator rack: 50 Feet
Main AC to primary generator rack: 6 Feet
Main AC to pump frame: 50 Feet
Main AC to NESLAB heat exchanger: 50 Feet
Monitor cable: 50 Feet
2002 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500は、半導体デバイス製造における幅広い薄膜アプリケーションに信頼性の高い高性能成膜を提供するために設計された次世代プラズマ強化化学蒸着（PECVD）炉です。この装置は、高度なプラズマ技術を利用して、優れたプロセス制御を備えた高品質の均一な薄膜を製造しています。AKT Endura 5500リアクターは、コンパクトで保守性に優れた設計を備えており、高スループットの製造に適しています。このシステムにより、ユーザーはチャンバごとに個別にプロセスパラメータを設定でき、プロセス全体にわたって正確な制御と均一性を提供します。これにより、薄膜の成膜が均一かつ一貫しており、高品質の結果が得られます。AMAT ENDURA 5500はまた、プロセス性能を最適化し、プロセスの信頼性を高めるために、さまざまな洗練されたプラズマおよびガス相の技術を利用しています。非常に一貫した環境で均一な堆積を提供することにより、ユニットは、正確な制御と予測可能な結果を持つより厚く、より薄く、多層膜を生成することができます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500は、高度な統合プロセス監視、診断、プロセス最適化機能により、優れたプロセス制御を可能にします。さらに、AMAT Endura 5500は、安全性と信頼性を向上させます。このマシンは、インテリジェントセンサーを使用してプラズマと温度の両方の状態を常に監視します。これにより、ツールのステータスに関するリアルタイムのフィードバックが得られ、オペレータは潜在的なパフォーマンスの問題をすばやく特定して対処することができます。全体として、AMAT/Endura 5500は、半導体デバイス製造の薄膜蒸着ニーズに対して使いやすく、信頼性が高く、効率的なソリューションを提供します。アプライドマテリアルズENDURA 5500は、高度なプラズマ技術と統合されたプロセス監視および最適化機能により、大量生産に最適な信頼性、均一性、精密な成膜結果を提供します。
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