中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9202549 を販売中

ID: 9202549
ウェーハサイズ: 8"
PVD System, 8" Accessories not included NESLAB III Robot: HP (Buffer and transfer) Loadlock: Narrow body Chamber A: Pass thru Chamber B: Cool down Chamber C: Preclean PIK II Chamber E / F: Orienter / Degas Wide body: AlCu, TiN Water cool: MCA+ / 9600 Compressor.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reactorは、様々な基板の精密プラズマ処理とエッチングを可能にする革新的な半導体加工装置です。ナノスケールの高度な材料加工を可能にし、高性能デバイスの製造に最適です。AKT Endura 5500の高度なアーキテクチャは、幅広い構成可能なプロセスモジュールを備えています。これにより、ユーザーは個々のアプリケーションのニーズを正確に満たすためにプロセスパラメータを調整することができます。このシステムはまた、複数のガス制御オプションを提供し、1つのユニット内のさまざまなプロセスガスの能力を可能にします。これらのプロセスには、エッチング、ストリッピング、酸化、窒化、およびその他の分散プロセスが含まれます。AMAT ENDURA 5500は、反応チャンバーの設計を改善し、優れたプロセスの均一性とチャンバー内の温度の正確な制御を可能にします。このチャンバーは自動洗浄機で設計されており、ダウンタイムを削減し、生産性を向上させます。Endura 5500の高効率で堅牢なパワーコントロールユニット(PCU)は、正確で安定した再現性を確保するよう設計されています。PCUにより、適用されたプロセスのRFおよびDCパラメータを微調整できます。これにより、ユーザーはプロセス設定をすばやく最適化できます。ENDURA 5500の高度なガス供給モジュールは、さまざまなプロセスガスフローを均一かつ再現可能に制御します。このモジュールを使用すると、ガス流量と圧力を正確に制御し、正確で再現性のあるプロセス結果を保証できます。アプライドマテリアルズENDURA 5500は、プロセス制御と資産最適化を容易にする自動ソフトウェアツールを備えています。ソフトウェアはまた、調整可能なプロセスパラメータを提供し、ユーザーは事前にプログラムされたレシピを実装することができます。これにより、レシピを迅速に変更し、迅速なプロセス最適化を実現できます。AMAT Endura 5500は、さまざまなプロセス要件に対応できる汎用性の高いモデルです。高度な機能を備えたこの装置は、高性能デバイスの製造に最適です。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500リアクターは、幅広い材料加工アプリケーションに優れた性能を提供する先進的で強力なシステムです。高度なアーキテクチャ、効率的な電力制御、自動化されたソフトウェアユニットは、高い生産性と精度の結果を達成するための理想的なツールです。
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