中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9193779 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500リアクターは、高品質の研究と生産ニーズのために設計された最先端の化学蒸着装置です。直感的でユーザーフレンドリーなソフトウェアだけでなく、正確なエンジニアリングと高度なプロセス制御を備えています。AKT Endura 5500は、材料および前駆体の超薄層の沈着、金属酸化物および窒化金属薄膜の無機および有機化学蒸着（CVD）、原子層沈着（ALD）など、さまざまな用途に適しています。それは大きいサセプターのサイズ、速い応答時間、非常にカスタマイズ可能な部屋構成および速いランプ率の大きい区域の薄膜の成長のための理想的な選択です。メタルシールされたAMAT ENDURA 5500システムは、自動ウェハハンドリング、プログラマブルチャンバー構成、モジュラー電気ユニットを備えています。AKT ENDURA 5500の出荷時に調整されたソースコンフィギュレーションは、超薄型層成膜のために、成膜プロセスを正確に制御します。これらの精密ソースは、基板と基板の干渉を低減し、均一な蒸着を保証します。APPLIED MATERIALS Endura 5500は、デュアルデポジションソースポートも備えており、複数の材料を同時に入金することができます。5500は、ウェハスケールの薄膜成膜からナノ構造の気相合成まで、高真空プロセスと中真空プロセスの両方で容易に統合できるように設計された基盤プラットフォーム上に構築されています。そのステンレス鋼の構造は優秀な機械安定性を提供します。チャンバーの壁には、工具やプロセスセンサー用のチャンバー内部への外部アクセスを提供する高真空対応フレックスフィードスルーが備わっています。APPLIED MATERIALTS ENDURA 5500は、内部負荷ロックマシンを採用し、最大300mmウェーハの高速かつ効率的な取り扱いを実現しています。この負荷ロックツールは、汚染を最小限に抑え、均一で再現性のある薄膜蒸着を保証します。5500には、各プロセスを最適化するための高度な温度および圧力制御システムが含まれています。各プロセスは、チャンバー全体で正確な温度制御を保証するように設計されています。オプションのBubblerベースの湿度制御アセットにより、湿式前駆体やリアクタント、加湿ガスなどのさまざまなソースを使用して、優れた均一性で材料の沈着をサポートできます。このモデルには、常にチャンバー圧力を監視するイオンゲージの過圧監視装置など、複数の安全機能があります。安全センサーの配列は絶えず監視され、システムは単位の完全性を保障するために広い配列のHMIおよび警報が装備されています。全体的に、ENDURA 5500は堅牢で信頼性の高い機械であり、最適な薄膜成膜のための洗練された直感的な制御プラットフォームを提供します。ユーザーフレンドリーなソフトウェア、汎用性の高いチャンバー構成、ロードロックツール、高度な安全機能により、さまざまな研究および生産アプリケーションに最適です。