中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9192923 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500はエッチング用途に特化した先進的な半導体炉です。この原子炉は、物理的、化学的、および熱的プロセスを組み合わせて、優れた一貫性、速度、均一性を備えた小さな構造をエッチングすることができる高精度の基板処理システムを作成します。原子炉は大口径のチャンバーと小さなプロセスウィンドウで設計されており、アクセスと均一性が向上しています。優れたウェーハモーションコントロールを備えており、一貫性のある反復可能なプロセスと、最適な安全性と利便性を実現するデュアルリッドシステムを提供します。AKT Endura 5500は、自動化されたRobomatrix FOUP （Front Opening Unified Pod）インターフェイスを備えており、複数のFOUPを同時に処理できます。また、高圧および低圧エッチング、蒸着（スパッタリングまたはCVDプロセスによる）、アニール、クリーニングなど、幅広い高度なプロセス機能を提供します。これにより、精度の高いさまざまなデバイス構造の迅速かつ効率的な生産とメンテナンスが可能になり、最も要求の厳しいエッチング用途でも品質を保証します。AMAT ENDURA 5500には、バッチとプロセス間の再現性を確保するAPCS （Advanced Process Control System）が搭載されています。APCSは、圧力、温度、ガスの流れなど、すべてのプロセスパラメータをリアルタイムで監視し、ユーザーにフィードバックを提供します。これにより、処理時間を最小限に抑え、ダウンタイムを最小限に抑え、デバイスの歩留まりと品質を向上させます。全体として、APPLIED MATERIALTS ENDURA 5500は、高精度エッチング用途に最適で、高度なプロセス機能と堅牢なAPCSの助けを提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500を使用すると、ユーザーは最も要求の厳しいアプリケーションのニーズを満たすために、効率的で安全で信頼性の高いエッチングソリューションを楽しむことができます。